6-inčni 150mm Silikon karbid SiC pločice tipa 4H-N za MOS ili SBD proizvodno istraživanje i lažni razred
Polja primjene
6-inčni monokristalni supstrat od silicijum karbida igra ključnu ulogu u više industrija. Prvo, široko se koristi u industriji poluvodiča za proizvodnju elektronskih uređaja velike snage kao što su tranzistori snage, integrirana kola i energetski moduli. Njegova visoka toplotna provodljivost i otpornost na visoke temperature omogućavaju bolje odvođenje toplote, što rezultira poboljšanom efikasnošću i pouzdanošću. Drugo, pločice od silicijum karbida su neophodne u istraživačkim poljima za razvoj novih materijala i uređaja. Dodatno, pločica od silicijum karbida nalazi široku primenu u oblasti optoelektronike, uključujući proizvodnju LED dioda i laserskih dioda.
Specifikacije proizvoda
6-inčni monokristalni supstrat od silicijum karbida ima prečnik od 6 inča (otprilike 152,4 mm). Hrapavost površine je Ra < 0,5 nm, a debljina 600 ± 25 μm. Podloga se može prilagoditi bilo N-tipom ili P-tipom provodljivosti, na osnovu zahtjeva kupaca. Štaviše, pokazuje izuzetnu mehaničku stabilnost, sposoban da izdrži pritisak i vibracije.
Prečnik | 150±2,0 mm (6 inča) | ||||
Debljina | 350 μm±25μm | ||||
Orijentacija | Na osi: <0001>±0.5° | Van ose: 4,0° prema 1120±0,5° | |||
Polytype | 4H | ||||
Otpornost (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primarna ravna orijentacija | {10-10}±5.0° | ||||
Primarna ravna dužina (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Edge | Chamfer | ||||
TTV/Luk/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM prednji dio (Si-face) | Poljski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Kora od pomorandže / koštice / pukotine / kontaminacija / mrlje / pruge | Nema | Nema | Nema | ||
uvlake | Nema | Nema | Nema |
6-inčni monokristalni supstrat od silicijum karbida je materijal visokih performansi koji se široko koristi u industriji poluvodiča, istraživanja i optoelektronike. Nudi odličnu toplotnu provodljivost, mehaničku stabilnost i otpornost na visoke temperature, što ga čini pogodnim za proizvodnju elektronskih uređaja velike snage i istraživanja novih materijala. Nudimo različite specifikacije i mogućnosti prilagođavanja kako bismo zadovoljili različite zahtjeve kupaca.Kontaktirajte nas za više detalja o pločicama od silicijum karbida!