6-inčne 150 mm silicijum-karbidne SiC pločice tipa 4H-N za MOS ili SBD proizvodnju, istraživanje i laboratorijski kvalitet
Područja primjene
6-inčni monokristalni supstrat silicijum karbida igra ključnu ulogu u više industrija. Prvo, široko se koristi u industriji poluprovodnika za izradu elektronskih uređaja velike snage kao što su energetski tranzistori, integrisana kola i energetski moduli. Njegova visoka toplotna provodljivost i otpornost na visoke temperature omogućavaju bolje odvođenje toplote, što rezultira poboljšanom efikasnošću i pouzdanošću. Drugo, pločice silicijum karbida su neophodne u istraživačkim poljima za razvoj novih materijala i uređaja. Osim toga, pločica silicijum karbida pronalazi široku primjenu u oblasti optoelektronike, uključujući proizvodnju LED dioda i laserskih dioda.
Specifikacije proizvoda
6-inčni supstrat od silicijum karbidnog monokristala ima prečnik od 6 inča (približno 152,4 mm). Hrapavost površine je Ra < 0,5 nm, a debljina je 600 ± 25 μm. Supstrat se može prilagoditi sa N-tipom ili P-tipom provodljivosti, na osnovu zahtjeva kupca. Štaviše, pokazuje izuzetnu mehaničku stabilnost, sposobnu da izdrži pritisak i vibracije.
| Prečnik | 150±2,0 mm (6 inča) | ||||
| Debljina | 350 μm±25 μm | ||||
| Orijentacija | Na osi: <0001>±0,5° | Van ose：4,0° prema 1120±0,5° | |||
| Politip | 4H | ||||
| Otpornost (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Primarna orijentacija ravnog stana | {10-10}±5,0° | ||||
| Primarna dužina ravnog dijela (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Rub | Zakošenje | ||||
| TTV/Luk/Osnova (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM prednji dio (Si-face) | Poljski Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Kora narandže/koštice/pukotine/kontaminacija/mrlje/pruge | Nijedan | Nijedan | Nijedan | ||
| uvlačenja | Nijedan | Nijedan | Nijedan | ||
6-inčni monokristalni supstrat silicijum karbida je visokoperformansni materijal koji se široko koristi u industriji poluprovodnika, istraživanja i optoelektronike. Nudi odličnu toplotnu provodljivost, mehaničku stabilnost i otpornost na visoke temperature, što ga čini pogodnim za izradu elektronskih uređaja velike snage i istraživanje novih materijala. Nudimo različite specifikacije i opcije prilagođavanja kako bismo zadovoljili različite zahtjeve kupaca.Kontaktirajte nas za više detalja o silicijum-karbidnim pločicama!
Detaljan dijagram
