4-inčne SiC pločice 6H poluizolirajuće SiC podloge prvoklasnog, istraživačkog i lažnog kvaliteta

Kratki opis:

Poluizolovana podloga od silicijum karbida formira se rezanjem, brušenjem, poliranjem, čišćenjem i drugom tehnologijom obrade nakon rasta poluizolovanog kristala silicijum karbida.Na podlozi se uzgaja sloj ili višeslojni kristalni sloj koji ispunjava zahtjeve kvaliteta kao epitaksija, a zatim se mikrovalni RF uređaj pravi kombinacijom dizajna kola i pakovanja.Dostupan kao 2 inča 3 inča 4 incgh 6 inča 8 inča industrijskih, istraživačkih i testnih poluizoliranih monokristalnih podloga od silicijum karbida.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Specifikacija proizvoda

Ocjena			Nulti MPD proizvodni stupanj (Z Grade)			Standardna proizvodna klasa (P razred)		lažna ocjena (D razred)
Prečnik			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Wafer Orientation			Van ose: 4,0° prema< 1120 > ±0,5° za 4H-N, Na osi: <0001>±0,5° za 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Primarna ravna orijentacija		{10-10} ±5.0°
Primarna ravna dužina		32,5 mm±2,0 mm
Sekundarna ravna dužina		18,0 mm±2,0 mm
Sekundarna ravna orijentacija		Silicijum licem prema gore: 90° CW.od početnog nivoa ±5,0°
Edge Exclusion		3 mm
LTV/TTV/Bow/Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Roughness			C lice				Poljski		Ra≤1 nm
			Si face	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Rubne pukotine zbog svjetlosti visokog intenziteta		Nema						Kumulativna dužina ≤ 10 mm, pojedinačna dužina≤2 mm
Hex ploče sa svjetlom visokog intenziteta		Kumulativna površina ≤0,05%						Kumulativna površina ≤0,1%
Polytype Areas by High Intensity Light		Nema						Kumulativna površina≤3%
Visual Carbon Inclusions		Kumulativna površina ≤0,05%						Kumulativna površina ≤3%
Silicijumske površinske ogrebotine od svetla visokog intenziteta		Nema						Kumulativna dužina≤1＊prečnik oblatne
Edge Chips High By Intensity Light		Nije dozvoljeno ≥0,2 mm širine i dubine						5 dozvoljeno, ≤1 mm svaki
Kontaminacija površine silikonom visokog intenziteta		Nema
Pakovanje		Kaseta sa više vafla ili jedna posuda za vafle