156 mm 159 mm 6 inča safirna pločica za nosač C-Plane DSP TTV
Specifikacija
| Stavka | 6-inčni C-ravni (0001) Safirne pločice | |
| Crystal Materials | 99,999%, visoke čistoće, monokristalni Al2O3 | |
| Ocjena | Prime, Epi-Spreman | |
| Orijentacija površine | C-ravnina (0001) | |
| Ugao C-ravnine prema M-osi 0,2 +/- 0,1° | ||
| Prečnik | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Debljina | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primarna ravna orijentacija | C-ravan (00-01) +/- 0,2° | |
| Single Side Polished | Front Surface | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (po AFM) |
| (SSP) | Back Surface | Fino mljeveno, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm |
| Double Side Polished | Front Surface | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (po AFM) |
| (DSP) | Back Surface | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (po AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| LUK | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Čišćenje / Pakovanje | Čišćenje čistih prostorija klase 100 i vakuumsko pakovanje, | |
| 25 komada u pakovanju od jedne kasete ili pakovanju u jednom komadu. | ||
Kylopoulosov metod (KY metoda) trenutno koriste mnoge kompanije u Kini za proizvodnju safirnih kristala za upotrebu u elektronskoj i optičkoj industriji.
U ovom procesu, aluminijum oksid visoke čistoće se topi u lončiću na temperaturama iznad 2100 stepeni Celzijusa.Obično je lončić napravljen od volframa ili molibdena.Precizno orijentisani kristal za seme je uronjen u rastopljenu glinicu.Sjemenski kristal se polako povlači prema gore i može se istovremeno rotirati.Preciznom kontrolom gradijenta temperature, brzine vučenja i brzine hlađenja, iz taline se može proizvesti veliki, monokristalni, gotovo cilindrični ingot.
Nakon uzgoja monokristalnih safirnih ingota, oni se buše u cilindrične šipke, koje se zatim režu na željenu debljinu prozora i na kraju poliraju do željene površine.
Detaljan dijagram
