156mm 159mm 6-inčna safirna pločica za nosač C-ravnine DSP TTV
Specifikacija
Stavka | 6-inčne C-ravnine (0001) safirne pločice | |
Kristalni materijali | 99,999%, visoka čistoća, monokristalni Al2O3 | |
Ocjena | Prime, Epi-Ready | |
Orijentacija površine | C-ravan(0001) | |
Vanjski ugao C-ravni prema M-osi 0,2 +/- 0,1° | ||
Prečnik | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Debljina | 650 μm +/- 25 μm | |
Primarna orijentacija stana | C-ravan (00-01) +/- 0,2° | |
Polirano s jedne strane | Prednja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM metodom) |
(SSP) | Zadnja površina | Fino brušeno, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm |
Dvostrano polirano | Prednja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM metodom) |
(DSP) | Zadnja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM metodom) |
TTV | < 20 μm | |
LUK | < 20 μm | |
DEFORMACIJA | < 20 μm | |
Čišćenje / Pakovanje | Čišćenje čistih soba klase 100 i vakuumsko pakovanje, | |
25 komada u jednom kasetnom pakovanju ili pojedinačnom pakovanju. |
Kylopoulos metodu (KY metodu) trenutno koriste mnoge kompanije u Kini za proizvodnju safirnih kristala za upotrebu u elektronskoj i optičkoj industriji.
U ovom procesu, aluminijum oksid visoke čistoće se topi u lončiću na temperaturama iznad 2100 stepeni Celzijusa. Obično je lončić napravljen od volframa ili molibdena. Precizno orijentisani kristalni sjemenski materijal uranja u rastopljeni aluminijum oksid. Kristalni sjemenski materijal se polako povlači prema gore i može se istovremeno rotirati. Preciznom kontrolom temperaturnog gradijenta, brzine povlačenja i brzine hlađenja, iz rastopljenog materijala se može proizvesti veliki, monokristalni, gotovo cilindrični ingot.
Nakon što se uzgoje ingoti monokristalnog safira, oni se buše u cilindrične šipke, koje se zatim režu na željenu debljinu prozora i na kraju poliraju do željene površinske obrade.
Detaljan dijagram


