English

Ultra precizna SiC platforma sa zračnim ležajem

Istaknuta slika ultraprecizne SiC platforme sa zračnim ležajem
  • Ultra precizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultra precizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultra precizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultra precizna SiC platforma sa zračnim ležajem

Kratak opis:

S kontinuiranim razvojem industrije poluprovodnika, oprema za obradu i inspekciju zahtijeva sve veće performanse. Nadovezujući se na opsežno iskustvo u upravljanju kretanjem i pozicioniranju na nanometarskom nivou, razvili smo planarnu dvoosnu ultrapreciznu površinu sa zračnim ležajem tipa H.


Karakteristike

Detaljan dijagram

1_副本
4_副本

Pregled

S kontinuiranim razvojem industrije poluprovodnika, oprema za obradu i inspekciju zahtijeva sve veće performanse. Nadovezujući se na opsežno iskustvo u upravljanju kretanjem i pozicioniranju na nanometarskom nivou, razvili smo planarnu dvoosnu ultrapreciznu površinu sa zračnim ležajem tipa H.

Konstruisana sa keramičkom strukturom silicijum karbida (SiC) optimizovanom metodom konačnih elemenata i tehnologijom kompenzovanog vazdušnog ležaja, platforma pruža izuzetnu tačnost, krutost i dinamički odziv. Idealno je pogodna za:

  • Obrada i inspekcija poluprovodnika
    Mikro/nano fabrikacija i metrologija
    Rezanje i poliranje na nanometarskoj skali
    Precizno skeniranje velikom brzinom

Ključne karakteristike

  • SiC vodilica sa zračnim ležajemza ultra visoku krutost i preciznost

  • Visoka dinamika: brzina do 1 m/s, ubrzanje do 4 g, brzo slijeganje

  • Dvostruki pogon portala Y-osaosigurava visoku nosivost i stabilnost

  • Opcije enkoderaoptička rešetka ili laserski interferometar

  • Tačnost pozicioniranja±0,15 μm;ponovljivost±75 nm

  • Optimizovano usmjeravanje kablovaza čist dizajn i dugoročnu pouzdanost

  • Prilagodljive konfiguracijeza specifične potrebe primjene

Ultraprecizan dizajn i arhitektura direktnog pogona bez kontakta

  • SiC keramički okvir: ~5× veća krutost od aluminijske legure i ~5× niže termičko širenje, što osigurava stabilnost pri velikim brzinama i termičku robusnost.

  • Kompenzirani zračni ležajVlasnički dizajn povećava krutost, nosivost i stabilnost kretanja.

  • Dinamičke performansePodržava brzinu od 1 m/s i ubrzanje od 4 g, idealno za procese visokog protoka.

  • Besprijekorna integracijaKompatibilan sa sistemima za izolaciju vibracija, rotacijskim platformama, nagibnim modulima i platformama za rukovanje pločicama.

  • Upravljanje kablovimaKontrolisani radijus savijanja minimizira naprezanje za produženi vijek trajanja.

 

  • Linearni motor bez jezgraGlatko kretanje bez sile zupčanja.

  • Višemotorni pogonPoložaj motora u ravni opterećenja poboljšava pravoliniju, ravnost i ugaonu preciznost.

  • Termička izolacijaMotori su izolovani od konstrukcije pozornice; opciono hlađenje vazduhom ili vodom za cikluse visokog opterećenja.

Specifikacije

Model 400-400 500-500 600-600
Sjekire X (skeniranje) / Y (korak) X (skeniranje) / Y (korak) X (skeniranje) / Y (korak)
Hod (mm) 400 / 400 500 / 500 600 / 600
Tačnost (μm) ±0,15 ±0,2 ±0,2
Ponovljivost (nm) ±75 ±100 ±100
Rezolucija (nm) 0,3 0,3 0,3
Maksimalna brzina (m/s) 1 1 1
Ubrzanje (g) 4 4 4
Pravost (μm) ±0,2 ±0,3 ±0,4
Stabilnost (nm) ±5 ±5 ±5
Maks. opterećenje (kg) 20 20 20
Nagib/Okret/Skretanje (lučna sekunda) ±1 ±1 ±1

 

Uslovi testiranja:

  • Dovod zraka: čist, suh; tačka rose ≤ 0°F; filtracija čestica ≤ 0,25 μm; ili 99,99% dušika.

  • Tačnost mjerena 25 mm iznad centra stolića na 20±1 °C, 40–60% relativne vlažnosti.

 

Aplikacije

  • Poluprovodnička litografija, inspekcija i rukovanje pločicama

  • Mikro/nano fabrikacija i precizna metrologija

  • Proizvodnja vrhunske optike i interferometrija

  • Vazduhoplovna i napredna naučna istraživanja

Često postavljana pitanja – Steklica sa zračnim ležajem od silicijum-karbida

1. Šta je faza sa vazdušnim ležajem?

Postaja sa zračnim ležajem koristi tanki film komprimiranog zraka između postaje i vodilice kako bi se osiguralobesprijekorno kretanje bez trenja, habanja i ultra glatkoZa razliku od konvencionalnih mehaničkih ležajeva, eliminira efekt zalijepljenog klizanja, pruža nanometarsku tačnost i podržava dugoročnu pouzdanost.

2. Zašto koristiti silicijum karbid (SiC) za strukturu pozornice?

  • Visoka krutost: ~5× više od legure aluminija, minimizirajući deformaciju tokom dinamičkog kretanja.

  • Nisko termičko širenje~5× niže od aluminija, održavajući tačnost pri temperaturnim varijacijama.

  • LaganaManja gustina u poređenju sa čelikom, što omogućava rad pri velikim brzinama i ubrzanjima.

  • Odlična stabilnostVrhunsko prigušenje i krutost za ultraprecizno pozicioniranje.

3. Da li je potrebno podmazivanje ili održavanje pozornice?

Nije potrebno tradicionalno podmazivanje jer postojibez mehaničkog kontaktaPreporučeno održavanje uključuje:

  • Opskrbačisti, suhi komprimirani zrak ili dušik

  • Periodična inspekcija filtera i sušača

  • Nadzor kablova i sistema za hlađenje

4. Koji su zahtjevi za dovod zraka?

  • Tačka rose: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)

  • Filtracija čestica: ≤ 0,25 μm

  • Čist, suh zrak ili 99,99% čisti dušik

  • Stabilan pritisak sa minimalnim fluktuacijama

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbid SIC, kvarc i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.

456789
  • Prethodno:
  • Sljedeće:

    • Povezani proizvodi

    Napišite svoju poruku ovdje i pošaljite nam je
    Pritisnite enter za pretragu ili ESC za zatvaranje