SiO2 tanki film termalnog oksida silicijske pločice 4 inča 6 inča 8 inča 12 inča
Uvođenje kutije za oblatne
Glavni proces proizvodnje oksidiranih silicijumskih pločica obično uključuje sljedeće korake: rast monokristalnog silicija, rezanje na pločice, poliranje, čišćenje i oksidaciju.
Rast monokristalnog silicija: Prvo, monokristalni silicijum se uzgaja na visokim temperaturama metodama kao što su Czochralskijeva metoda ili Float-zonska metoda. Ova metoda omogućava pripremu monokristala silicija visoke čistoće i integriteta rešetke.
Rezanje: Uzgojeni monokristalni silicij je obično cilindričnog oblika i potrebno ga je rezati na tanke pločice kako bi se koristio kao podloga za pločice. Rezanje se obično vrši dijamantskim rezačem.
Poliranje: Površina izrezane pločice može biti neravna i potrebno je hemijsko-mehaničko poliranje kako bi se dobila glatka površina.
Čišćenje: Polirana pločica se čisti kako bi se uklonile nečistoće i prašina.
Oksidacija: Konačno, silicijumske pločice se stavljaju u visokotemperaturnu peć za oksidaciju kako bi se formirao zaštitni sloj silicijum dioksida za poboljšanje njegovih električnih svojstava i mehaničke čvrstoće, kao i da bi služile kao izolacijski sloj u integrisanim kolima.
Glavne upotrebe oksidiranih silicijumskih pločica uključuju proizvodnju integriranih kola, proizvodnju solarnih ćelija i proizvodnju drugih elektronskih uređaja. Pločice silicijum oksida se široko koriste u oblasti poluprovodničkih materijala zbog svojih odličnih mehaničkih svojstava, dimenzionalne i hemijske stabilnosti, sposobnosti rada na visokim temperaturama i visokim pritiscima, kao i dobrih izolacijskih i optičkih svojstava.
Njegove prednosti uključuju potpunu kristalnu strukturu, čist hemijski sastav, precizne dimenzije, dobra mehanička svojstva itd. Ove karakteristike čine pločice silicijum oksida posebno pogodnim za proizvodnju visokoperformansnih integrisanih kola i drugih mikroelektronskih uređaja.
Detaljan dijagram
