Silicijska karbidna keramička ladica sillikonska karbidna keramička ceramička cijevska cijev visoka temperatura sinterovanje prilagođene obrade

Silicijska karbidna keramička ladica sillikonska karbidna keramička ceramička cijev opskrba visokom temperaturom sinteriranje prilagođene obradom Istaknuta slika

Kratak opis:

Silicijum karbidne keramičke ladice i silicijum Carbide Keramičke cijevi su neophodne materijale visokih performansi u proizvodnji poluvodiča. Keramička ladica od silicijum karbida uglavnom se koristi u obliku prerade vafla kako bi se osigurala stabilnost procesa visoko preciznosti; Silicijske karbidne keramičke cijevi široko se koriste u cijevima od visokih temperatura, difuzni pećnice i drugi scenariji za izdržavanje ekstremnih okruženja i održavanje efikasnog termičkog upravljanja. Oba se temelje na silikon karbidima kao osnovni materijal koji je postao ključna komponenta u industriji poluvodiča zbog odličnih fizičkih i hemijskih svojstava.

Pošaljite nam e-poštu

Detalj proizvoda

Oznake proizvoda

Glavne karakteristike:

1. Silicijska karbidna keramička ladica
- Visoka otpornost na tvrdoću i habanje: Tvrdoća je blizu dijamanta, a može dugo izdržati mehaničku habanje u preradu vafla.
- Visoka toplotna provodljivost i nizak toplotni koeficijent proširenja: brza rasipacija topline i dimenzionalna stabilnost, izbjegavanje deformacije uzrokovano termičkim stresom.
- Visoka ravna i površinska obrada: površina ravnost je do nivoa mikrona, osiguravajući puni kontakt između rezine i diska, smanjujući kontaminaciju i oštećenje.
Hemijska stabilnost: jaka otpornost na koroziju, pogodna za procese mokrog čišćenja i etizacije u proizvodnji poluvodiča.
2. Silikonska karbidna keramička cijev
- Visoka otpornost na temperaturu: Dugo može raditi u okruženju visokoj temperaturi iznad 1600 ° C, pogodno za postupak visokog temperaturnog temperature.
Izvrsna otpornost na koroziju: otporna na kiseline, alkalije i razne hemijske otapala, pogodne za oštre procesne okruženja.
- Visoka otpornost na tvrdoću i habanje: Oduprite se eroziji čestica i mehaničkom trošenjem, produžite radni vijek.
- Visoka toplotna provodljivost i nizak koeficijent toplinske ekspanzije: brzo provođenje stabilnosti topline i dimenzija, smanjenje deformacije ili pucanja uzrokovanih termičkim stresom.

Parametar proizvoda:

Parametar ladice od silikonskog karbida:

(Imovina materijala)		(Jedinica)	(SSIC)
(SIC sadržaj)		(WT)%	> 99
(Prosječna veličina zrna)		mikron	4-10
(Gustina)		kg / dm3	> 3.14
(Prividna poroznost)		V1%	<0,5
(Vickers tvrdoća)	HV 0.5	GPA	28
* () Snaga savijanja * (tri boda)	20ºC	MPa	450
(Tlačna čvrstoća)	20ºC	MPa	3900
(Elastični modul)	20ºC	GPA	420
(Žilavost loma)		MPA / M '%	3.5
(Toplotna provodljivost)	20 ° ºC	W / (m * k)	160
(Otpornost)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Koeficijent toplotnog proširenja)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1 * 10-6	4.3
(Maksimalna radna temperatura)		oºc	1700

Parametar ceramičke ceramičke ceramičke ceramičke ceramičke ceramičke ceramike:

Predmeti	Indeks
α-sic	99% min
Prividna poroznost	16% maks
GUBA DENSINGY	2,7g / cm3 min
Snaga savijanja na visokim temperaturama	100 MPa min
Koeficijent toplotne ekspanzije	K-1 4.7x10 -6
Koeficijent toplotne provodljivosti (1400ºC)	24 W / MK
Maks. Radna temperatura	1650ºC

Glavne aplikacije:

1. Silicijum karbidne keramičke ploče
- Rezanje i poliranje rezine: Služi kao nosina platforma za osiguranje visoke preciznosti i stabilnosti tokom rezanja i poliranja.
- Proces litografije: Reafer je fiksiran u litografiji da bi se osiguralo visoko precizno pozicioniranje tokom izlaganja.
- Hemijsko mehaničko poliranje (CMP): Djeluje kao platforma za podršku za poliranje jastučića, pružajući ujednačenu distribuciju tlaka i topline.
2. Silikonska karbidna keramička cijev
- Tubina visoke temperature: koristi se za visoku temperaturu opremu kao što su difuzijska peć i oksidaciona peć za nošenje vafla za tretman procesa visoke temperature.
- CVD / PVD proces: kao ležaljka u reakcijskoj komori otporna na visoke temperature i korozivne gasove.
- Pribor za poluvodiču opreme: za izmjenjivače topline, gas cjevovoda itd. Za poboljšanje efikasnosti termičke upravljanja opremom.
XKH nudi čitav niz prilagođenih usluga za keramičke ladice silicijuma, usisne čaše i silikonske karbidne keramičke cijevi. Silicijum Carbide Keramičke ladice i usisne čaše, XKH može se prilagoditi zahtjevima kupca različitih veličina, oblika i grubosti površine i podržavaju posebnog obrade premaza, poboljšajte otpornost na habanje i otpornost na habanje i otpornost na koroziju; Za keramičke cijevi silikonske karbide, XKH može prilagoditi različite unutarnji promjer, vanjski promjer, dužinu i složenu strukturu (poput oblikovane cijevi ili porozne cijevi) i pružanje poliranja, anti-oksidacijskog premaza i drugih procesa obrade površinskih obrada. XKH osigurava da kupci mogu u potpunosti iskoristiti prednosti performansi silikonskih karbidnih keramičkih proizvoda kako bi se zadovoljile zahtjevne zahtjeve visokog prerađivačkog polja kao što su poluvodiči, LED i fotonaponaika.