Silicijum-karbidna keramička posuda za usisavanje, silicijum-karbidna keramička cijev ...nterovanje na visokim temperaturama, obrada po narudžbi
Glavne karakteristike:
1. Keramička posuda od silicijum-karbida
- Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: tvrdoća je bliska dijamantu i može dugo izdržati mehaničko habanje prilikom obrade pločica.
- Visoka toplotna provodljivost i nizak koeficijent toplotnog širenja: brzo odvođenje toplote i dimenzijska stabilnost, izbjegavajući deformacije uzrokovane termičkim naprezanjem.
- Visoka ravnost i završna obrada površine: Ravnost površine je do mikronskog nivoa, što osigurava potpuni kontakt između pločice i diska, smanjujući kontaminaciju i oštećenja.
Hemijska stabilnost: Jaka otpornost na koroziju, pogodno za mokro čišćenje i procese nagrizanja u proizvodnji poluprovodnika.
2. Keramička cijev od silicijum-karbida
- Otpornost na visoke temperature: Može raditi u okruženju visokih temperatura iznad 1600°C duži vremenski period, pogodno za procese proizvodnje poluprovodnika na visokim temperaturama.
Odlična otpornost na koroziju: otporna na kiseline, alkalije i razne hemijske rastvarače, pogodna za teške procesne okoline.
- Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: otporne su na eroziju čestica i mehaničko habanje, produžavaju vijek trajanja.
- Visoka toplotna provodljivost i nizak koeficijent toplotnog širenja: brzo provođenje toplote i dimenzijska stabilnost, smanjujući deformacije ili pucanje uzrokovano termičkim naprezanjem.
Parametar proizvoda：
Parametar keramičke posude od silicijum karbida:
| (Materijalna imovina) | (Jedinica) | (sic) | |
| (Sadržaj SiC-a) | (tež.)% | >99 | |
| (Prosječna veličina zrna) | mikron | 4-10 | |
| (Gustoća) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Prividna poroznost) | Vo1% | <0,5 | |
| (Tvrdoća po Vickersu) | VH 0,5 | Prosječni prosjek ocjena (GPA) | 28 |
| *() Čvrstoća na savijanje* (tri boda) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Tlačna čvrstoća) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modul elastičnosti) | 20ºC | Prosječni prosjek ocjena (GPA) | 420 |
| (Žilavost na lom) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Toplotna provodljivost) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Otpornost) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Koeficijent termičkog širenja) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimalna radna temperatura) | °C | 1700. godine | |
Parametar keramičke cijevi od silicijum karbida:
| Stavke | Indeks |
| α-SIC | 99% min. |
| Prividna poroznost | Maksimalno 16% |
| Gustina zapremine | 2,7 g/cm3 min. |
| Čvrstoća na savijanje na visokoj temperaturi | 100 MPa min. |
| Koeficijent termičkog širenja | K-1 4,7x10 -6 |
| Koeficijent toplotne provodljivosti (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maks. radna temperatura | 1650ºC |
Glavne primjene:
1. Keramička ploča od silicijum karbida
- Rezanje i poliranje pločica: služi kao platforma za ležajeve kako bi se osigurala visoka preciznost i stabilnost tokom rezanja i poliranja.
- Litografski proces: Pločica se fiksira u litografskoj mašini kako bi se osiguralo visoko precizno pozicioniranje tokom ekspozicije.
- Hemijsko-mehaničko poliranje (CMP): djeluje kao potporna platforma za polirajuće jastučiće, osiguravajući ravnomjeran pritisak i raspodjelu topline.
2. Keramička cijev od silicijum-karbida
- Cijev za visokotemperaturnu peć: koristi se za opremu za visoke temperature kao što su difuzijske peći i oksidacijske peći za nošenje pločica za visokotemperaturnu obradu.
- CVD/PVD proces: Kao noseća cijev u reakcijskoj komori, otporna na visoke temperature i korozivne plinove.
- Pribor za poluprovodničku opremu: za izmjenjivače toplote, gasovode itd., radi poboljšanja efikasnosti upravljanja toplotom opreme.
XKH nudi kompletan asortiman prilagođenih usluga za keramičke poslužavnike, vakuumske čašice i keramičke cijevi od silicijum karbida. Keramičke poslužavnike i vakuumske čašice od silicijum karbida, XKH, mogu se prilagoditi prema zahtjevima kupaca različitih veličina, oblika i hrapavosti površine, te podržavaju poseban tretman premaza, poboljšavaju otpornost na habanje i otpornost na koroziju; Za keramičke cijevi od silicijum karbida, XKH može prilagoditi različite unutrašnje promjere, vanjske promjere, dužine i složene strukture (kao što su oblikovane cijevi ili porozne cijevi), te obezbijediti poliranje, antioksidacijski premaz i druge procese površinske obrade. XKH osigurava da kupci mogu u potpunosti iskoristiti prednosti performansi keramičkih proizvoda od silicijum karbida kako bi zadovoljili zahtjevne zahtjeve vrhunskih proizvodnih oblasti kao što su poluprovodnici, LED diode i fotonaponski sistemi.
Detaljan dijagram
