English

Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)

Istaknuta slika konzolne lopatice od silicijum-karbida (SiC konzolne lopatice)
  • Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)
  • Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)
  • Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)
  • Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)
  • Konzolna lopatica od silicijum karbida (SiC konzolna lopatica)

Kratak opis:

Konzolna lopatica od silicijum karbida, proizvedena od visokoperformansnog reakcijski vezanog silicijum karbida (RBSiC), ključna je komponenta koja se koristi u sistemima za utovar i rukovanje pločicama za poluprovodničke i fotonaponske primjene.


Karakteristike

Detaljan dijagram

4_副本
2_副本

Pregled proizvoda

Konzolna lopatica od silicijum karbida, proizvedena od visokoperformansnog reakcijski vezanog silicijum karbida (RBSiC), ključna je komponenta koja se koristi u sistemima za utovar i rukovanje pločicama za poluprovodničke i fotonaponske primjene.
U poređenju sa tradicionalnim kvarcnim ili grafitnim lopaticama, SiC konzolne lopatice nude superiornu mehaničku čvrstoću, visoku tvrdoću, nisko termičko širenje i izvanrednu otpornost na koroziju. One održavaju odličnu strukturnu stabilnost na visokim temperaturama, ispunjavajući stroge zahtjeve velikih veličina pločica, produženog vijeka trajanja i ultra-niske kontaminacije.

S kontinuiranim razvojem procesa proizvodnje poluprovodnika prema većim promjerima pločica, većoj propusnosti i čistijim procesnim okruženjima, SiC konzolne lopatice su postepeno zamijenile konvencionalne materijale, postajući preferirani izbor za difuzijske peći, LPCVD i srodnu opremu za visoke temperature.

Karakteristike proizvoda

  • Odlična stabilnost na visokim temperaturama

    • Pouzdano radi na temperaturama od 1000–1300℃ bez deformacija.

    • Maksimalna radna temperatura do 1380℃.

  • Visoka nosivost

    • Čvrstoća na savijanje do 250–280 MPa, mnogo veća od kvarcnih lopatica.

    • Sposoban za rukovanje pločicama velikog promjera (300 mm i više).

  • Produženi vijek trajanja i minimalno održavanje

    • Nizak koeficijent termičkog širenja (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dobro usklađen s LPCVD materijalima za premazivanje.

    • Smanjuje pukotine i ljuštenje uzrokovano naprezanjem, značajno produžavajući cikluse čišćenja i održavanja.

  • Otpornost na koroziju i čistoća

    • Odlična otpornost na kiseline i alkalije.

    • Gusta mikrostruktura sa otvorenom poroznošću <0,1%, minimizirajući stvaranje čestica i oslobađanje nečistoća.

  • Dizajn kompatibilan s automatizacijom

    • Stabilna geometrija poprečnog presjeka s visokom dimenzijskom tačnošću.

    • Besprijekorno se integrira s robotskim sistemima za utovar i istovar pločica, omogućavajući potpuno automatiziranu proizvodnju.

Fizička i hemijska svojstva

Stavka Jedinica Podaci
Maks. radna temperatura ℃ 1380
Gustoća g/cm³ 3,04 – 3,08
Otvorena poroznost % < 0,1
Čvrstoća na savijanje MPa 250 (20℃), 280 (1200℃)
Modul elastičnosti Prosječni prosjek ocjena (GPA) 330 (20℃), 300 (1200℃)
Toplotna provodljivost W/m·K 45 (1200℃)
Koeficijent termičkog širenja K⁻¹×10⁻⁶ 4,5
Tvrdoća po Vickersu HV2 ≥ 2100
Otpornost na kiseline/alkalije - Odlično

 

  • Standardne dužine:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm

  • Prilagođene dimenzije dostupne na zahtjev

Aplikacije

  • Poluprovodnička industrija

    • LPCVD (Hemijsko taloženje iz parne faze niskog pritiska)

    • Difuzijski procesi (fosfor, bor, itd.)

    • Termička oksidacija

  • Fotonaponska industrija

    • Difuzija i premazivanje polisilicijskih i monokristalnih pločica

    • Visokotemperaturno žarenje i pasivizacija

  • Druga polja

    • Korozivna okruženja visokih temperatura

    • Precizni sistemi za rukovanje pločicama koji zahtijevaju dug vijek trajanja i nisku kontaminaciju

Prednosti za kupce

  1. Smanjeni operativni troškovi– Duži vijek trajanja u usporedbi s kvarcnim lopaticama, smanjujući vrijeme zastoja i učestalost zamjene.

  2. Veći prinos– Izuzetno niska kontaminacija osigurava čistoću površine pločice i smanjuje stopu defekata.

  3. Spreman za budućnost– Kompatibilan s velikim veličinama pločica i poluprovodničkim procesima sljedeće generacije.

  4. Poboljšana produktivnost– Potpuno kompatibilan sa robotskim automatizacijskim sistemima, podržavajući proizvodnju velikih količina.

Često postavljana pitanja – Konzolna lopatica od silicijum-karbida

P1: Šta je konzolna lopatica od silicijum-karbida?
A: To je komponenta za nosač i rukovanje pločicom napravljena od reakcijski vezanog silicijum karbida (RBSiC). Široko se koristi u difuzijskim pećima, LPCVD i drugim visokotemperaturnim poluprovodničkim i fotonaponskim procesima.

P2: Zašto odabrati SiC umjesto kvarcnih lopatica?
A: U poređenju sa kvarcnim lopaticama, SiC lopatice nude:

  • Veća mehanička čvrstoća i nosivost

  • Bolja termička stabilnost na temperaturama do 1380℃

  • Mnogo duži vijek trajanja i smanjeni ciklusi održavanja

  • Manji rizik od stvaranja čestica i kontaminacije

  • Kompatibilnost s većim veličinama pločica (300 mm i više)

P3: Koje veličine pločica može podržati SiC konzolna lopatica?
A: Standardne lopatice su dostupne za sisteme peći od 2378 mm, 2550 mm i 2660 mm. Prilagođene dimenzije su dostupne za podršku pločicama do 300 mm i više.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbid SIC, kvarc i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.

456789
  • Prethodno:
  • Sljedeće:

    • Povezani proizvodi

    Napišite svoju poruku ovdje i pošaljite nam je
    Pritisnite enter za pretragu ili ESC za zatvaranje