SiC keramička ploča grafitna sa CVD SiC premazom za opremu

Kratak opis:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. proizvodi poluvodičke diskove za graviranje Φ380mm–Φ600mm, diskove sa ležajevima, ležište od silicijum karbida, SIC ležište, ležište od silicijum karbida, ICP ležište za graviranje, ležište za graviranje, ladicu za jetkanje, žicu za jetkanje od silicijum karbida 9 vijek trajanja. je četiri puta veći od CVD ladice na bazi grafita, dugotrajna upotreba bez deformacija, Otporan na FH kiselinu, koncentriranu H2So4 koroziju.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Keramika od silicijum karbida ne koristi se samo u fazi taloženja tankog filma, kao što je epitaksija ili MOCVD, ili u obradi vafla, u čijoj se srži nosači pločica za MOCVD prvo podvrgavaju okruženju taloženja, te su stoga vrlo otporne na toplote i korozije. Nosači obloženi SiC-om takođe imaju visoku toplotnu provodljivost i odlična svojstva distribucije toplote.

Čisto hemijsko taloženje naparenih silicijum karbida (CVD SiC) nosači pločica za visokotemperaturnu obradu metaloorganskim hemijskim taloženjem (MOCVD).

Čisti CVD SiC nosači pločica su značajno bolji od konvencionalnih nosača pločica koji se koriste u ovom procesu, a koji su grafitni i obloženi slojem CVD SiC. ovi obloženi nosači na bazi grafita ne mogu izdržati visoke temperature (1100 do 1200 stepeni Celzijusa) koje su potrebne za taloženje GaN-a današnje plavo-bijele LED diode visoke svjetline. Visoke temperature uzrokuju da premaz razvije sitne rupice kroz koje procesne hemikalije erodiraju grafit ispod. Čestice grafita se tada ljušte i kontaminiraju GaN, uzrokujući da se obloženi nosač pločice zamijeni.

CVD SiC ima čistoću od 99,999% ili više i ima visoku toplotnu provodljivost i otpornost na toplotni udar. Stoga može izdržati visoke temperature i oštra okruženja proizvodnje LED dioda visoke svjetline. To je čvrsti monolitni materijal koji postiže teoretsku gustoću, proizvodi minimalne čestice i pokazuje vrlo visoku otpornost na koroziju i eroziju. Materijal može promijeniti neprozirnost i provodljivost bez unošenja metalnih nečistoća. Nosači vafla su tipično prečnika 17 inča i mogu držati do 40 oblatni od 2-4 inča.