SiC keramička viljuškasta ruka / krajnji efektor – napredno precizno rukovanje za proizvodnju poluprovodnika

Kratak opis:

SiC keramička viljuškasta ruka, često nazivana keramičkim krajnjim efektorom, je visokoučinkovita komponenta za precizno rukovanje, posebno razvijena za transport, poravnavanje i pozicioniranje pločica u visokotehnološkim industrijama, posebno u proizvodnji poluprovodnika i fotonaponskih sistema. Izrađena korištenjem visokočiste silicijum-karbidne keramike, ova komponenta kombinuje izuzetnu mehaničku čvrstoću, ultra-nisko termičko širenje i vrhunsku otpornost na termalni udar i koroziju.

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

Detaljan dijagram

Pregled proizvoda

Za razliku od tradicionalnih krajnjih efektora izrađenih od aluminija, nehrđajućeg čelika ili čak kvarca, keramički SiC krajnji efektori nude neusporedive performanse u vakuumskim komorama, čistim sobama i teškim uvjetima obrade, što ih čini ključnim dijelom robota za rukovanje pločicama sljedeće generacije. S rastućom potražnjom za proizvodnjom bez kontaminacije i strožim tolerancijama u proizvodnji čipova, upotreba keramičkih krajnjih efektora brzo postaje industrijski standard.

Princip proizvodnje

IzradaSiC keramički krajnji efektoriuključuje niz visokopreciznih procesa visoke čistoće koji osiguravaju i performanse i izdržljivost. Obično se koriste dva glavna procesa:

Reakcijski vezani silicijum karbid (RB-SiC)

U ovom procesu, predoblik napravljen od praha silicijum karbida i veziva se infiltrira rastopljenim silicijumom na visokim temperaturama (~1500°C), koji reaguje sa preostalim ugljenikom formirajući gusti, kruti SiC-Si kompozit. Ova metoda nudi odličnu kontrolu dimenzija i isplativa je za proizvodnju velikih razmjera.

Sinterovani silicijum karbid bez pritiska (SSiC)

SSiC se proizvodi sinterovanjem ultra-finog, visoko-čistog SiC praha na izuzetno visokim temperaturama (>2000°C) bez upotrebe aditiva ili vezivne faze. To rezultira proizvodom sa skoro 100% gustine i najvišim mehaničkim i termičkim svojstvima dostupnim među SiC materijalima. Idealan je za ultra-kritične primjene rukovanja pločicama.

Naknadna obrada

Precizna CNC obradaPostiže visoku ravnost i paralelnost.
Završna obrada površineDijamantsko poliranje smanjuje hrapavost površine na <0,02 µm.
InspekcijaZa provjeru svakog komada koriste se optička interferometrija, CMM i nerazorna ispitivanja.

Ovi koraci garantuju da ćeSiC krajnji efektorPruža konzistentnu tačnost postavljanja pločice, odličnu planarnost i minimalno generisanje čestica.

Ključne karakteristike i prednosti

Funkcija	Opis
Ultra visoka tvrdoća	Tvrdoća po Vickersu > 2500 HV, otporna na habanje i krhotine.
Nisko termičko širenje	KTŠ ~4,5×10⁻⁶/K, što omogućava dimenzionalnu stabilnost pri termičkom cikliranju.
Hemijska inertnost	Otporan na HF, HCl, plazma gasove i druge korozivne agense.
Odlična otpornost na termalne udare	Pogodno za brzo zagrijavanje/hlađenje u vakuumskim i pećnim sistemima.
Visoka krutost i čvrstoća	Podržava duge konzolne viljuške bez otklona.
Nisko ispuštanje gasova	Idealno za okruženja ultra visokog vakuuma (UHV).
Spremno za čiste sobe ISO klase 1	Rad bez čestica osigurava integritet pločice.

Aplikacije

SiC keramička viljuškasta ruka / krajnji efektor se široko koristi u industrijama koje zahtijevaju ekstremnu preciznost, čistoću i hemijsku otpornost. Ključni scenariji primjene uključuju:

Proizvodnja poluprovodnika

Utovar/istovar pločica u sistemima za taloženje (CVD, PVD), nagrizanje (RIE, DRIE) i čišćenje.
Robotizirani transport pločica između FOUP-ova, kaseta i procesnih alata.
Rukovanje na visokim temperaturama tokom termičke obrade ili žarenja.

Proizvodnja fotonaponskih ćelija

Delikatan transport krhkih silicijumskih pločica ili solarnih supstrata u automatizovanim linijama.

Industrija ravnih ekrana (FPD)

Premještanje velikih staklenih panela ili podloga u OLED/LCD proizvodnim okruženjima.

Složeni poluprovodnik / MEMS

Koristi se u proizvodnim linijama GaN, SiC i MEMS gdje su kontrola kontaminacije i tačnost pozicioniranja ključni.

Njegova uloga krajnjeg efektora je posebno kritična u osiguravanju stabilnog rukovanja bez grešaka tokom osjetljivih operacija.

Mogućnosti prilagođavanja

Nudimo širok spektar prilagođavanja kako bismo zadovoljili različite zahtjeve opreme i procesa:

Dizajn viljuškeRasporedi s dva kraka, više prstiju ili na dva nivoa.
Kompatibilnost veličina pločiceOd 2” do 12” pločica.
Montažni interfejsiKompatibilno s OEM robotskim rukama.
Tolerancije debljine i površineDostupna je ravnost i zaobljavanje ivica na nivou mikrona.
Protivklizne karakteristikeOpcionalne površinske teksture ili premazi za sigurno prianjanje pločice.

Svakikeramički krajnji efektorje dizajniran u saradnji s klijentima kako bi se osiguralo precizno prilagođavanje uz minimalne promjene alata.

Često postavljana pitanja (FAQ)

P1: Po čemu je SiC bolji od kvarca za primjenu u krajnjem efektoru?
A1:Iako se kvarc često koristi zbog svoje čistoće, nedostaje mu mehanička žilavost i sklon je lomljenju pod opterećenjem ili temperaturnim šokom. SiC nudi vrhunsku čvrstoću, otpornost na habanje i termičku stabilnost, značajno smanjujući rizik od zastoja i oštećenja pločice.

P2: Da li je ova keramička viljuška kompatibilna sa svim robotskim rukovateljima pločicama?
A2:Da, naši keramički krajnji efektori su kompatibilni s većinom glavnih sistema za rukovanje pločicama i mogu se prilagoditi vašim specifičnim robotskim modelima uz precizne inženjerske crteže.

P3: Može li obraditi pločice od 300 mm bez savijanja?
A3:Apsolutno. Visoka krutost SiC-a omogućava čak i tankim, dugim viljuškastim krakovima da sigurno drže pločice od 300 mm bez savijanja ili otklona tokom kretanja.

P4: Koji je tipičan vijek trajanja SiC keramičkog krajnjeg efektora?
A4:Uz pravilnu upotrebu, SiC krajnji efektor može trajati 5 do 10 puta duže od tradicionalnih kvarcnih ili aluminijskih modela, zahvaljujući svojoj odličnoj otpornosti na termička i mehanička naprezanja.

P5: Da li nudite zamjene ili usluge brze izrade prototipa?
A5:Da, podržavamo brzu proizvodnju uzoraka i nudimo usluge zamjene na osnovu CAD crteža ili dijelova dobivenih reverznim inženjeringom s postojeće opreme.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbidne SIC, kvarcne i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.