SiC keramička krajnja efektorska ruka za nošenje pločice

Kratak opis:

LiNbO₃ pločice predstavljaju zlatni standard u integriranoj fotonici i preciznoj akustici, pružajući neusporedive performanse u modernim optoelektronskim sistemima. Kao vodeći proizvođač, usavršili smo umjetnost proizvodnje ovih inženjerskih supstrata kroz napredne tehnike uravnoteženja transporta pare, postižući vodeću kristalnu savršenost u industriji s gustoćama defekata ispod 50/cm².

Proizvodni kapaciteti XKH-a obuhvataju prečnike od 75 mm do 150 mm, sa preciznom kontrolom orijentacije (X/Y/Z-rez ±0,3°) i specijalizovanim opcijama dopiranja, uključujući elemente rijetkih zemalja. Jedinstvena kombinacija svojstava LiNbO₃ pločica – uključujući njihov izuzetan koeficijent r₃₃ (32±2 pm/V) i široku transparentnost od bliskog UV do srednjeg IR zračenja – čini ih nezamjenjivim za fotonska kola sljedeće generacije i visokofrekventne akustične uređaje.

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

Sažetak SiC keramičkog krajnjeg efektora

SiC (silicijum karbidni) keramički krajnji efektor je ključna komponenta u visokopreciznim sistemima za rukovanje pločicama koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika i naprednim okruženjima mikrofabrikacije. Projektovan da zadovolji zahtjevne uslove ultra-čistih, visokotemperaturnih i visoko stabilnih okruženja, ovaj specijalizovani krajnji efektor osigurava pouzdan i bez kontaminacije transport pločica tokom ključnih proizvodnih koraka kao što su litografija, nagrizanje i taloženje.

Iskorištavajući superiorna svojstva materijala silicijum karbida - kao što su visoka toplotna provodljivost, ekstremna tvrdoća, odlična hemijska inertnost i minimalno toplotno širenje - keramički krajnji efektor SiC nudi neusporedivu mehaničku krutost i dimenzionalnu stabilnost čak i pri brzim termičkim ciklusima ili u korozivnim procesnim komorama. Njegove karakteristike niskog stvaranja čestica i otpornosti na plazmu čine ga posebno pogodnim za primjenu u čistim sobama i vakuumskoj obradi, gdje su održavanje integriteta površine pločice i smanjenje kontaminacije česticama od najveće važnosti.

Primjena SiC keramičkog krajnjeg efektora

1. Rukovanje poluprovodničkim pločicama

SiC keramički krajnji efektori se široko koriste u industriji poluprovodnika za rukovanje silicijumskim pločicama tokom automatizovane proizvodnje. Ovi krajnji efektori se obično montiraju na robotske ruke ili sisteme za vakuumski prenos i dizajnirani su da prime pločice različitih veličina, kao što su 200 mm i 300 mm. Oni su neophodni u procesima koji uključuju hemijsko taloženje iz parne faze (CVD), fizičko taloženje iz parne faze (PVD), nagrizanje i difuziju - gdje su visoke temperature, vakuumski uslovi i korozivni gasovi uobičajeni. Izuzetna termička otpornost i hemijska stabilnost SiC-a čine ga idealnim materijalom koji može izdržati takva teška okruženja bez degradacije.

2. Kompatibilnost sa čistim sobama i vakuumom

U čistim sobama i vakuumskim okruženjima, gdje kontaminacija česticama mora biti minimizirana, SiC keramika nudi značajne prednosti. Gusta, glatka površina materijala otporna je na stvaranje čestica, pomažući u održavanju integriteta pločice tokom transporta. Zbog toga su SiC krajnji efektori posebno pogodni za kritične procese kao što su ekstremna ultraljubičasta litografija (EUV) i atomsko taloženje slojeva (ALD), gdje je čistoća ključna. Nadalje, nisko ispuštanje plinova i visoka otpornost na plazmu SiC-a osiguravaju pouzdane performanse u vakuumskim komorama, produžavajući vijek trajanja alata i smanjujući učestalost održavanja.

3. Visokoprecizni sistemi za pozicioniranje

Preciznost i stabilnost su od vitalnog značaja u naprednim sistemima za rukovanje pločicama, posebno u opremi za metrologiju, inspekciju i poravnanje. SiC keramika ima izuzetno nizak koeficijent termičkog širenja i visoku krutost, što omogućava krajnjem efektoru da održi svoju strukturnu tačnost čak i pod termičkim ciklusima ili mehaničkim opterećenjem. Ovo osigurava da pločice ostanu precizno poravnate tokom transporta, minimizirajući rizik od mikroogrebotina, neusklađenosti ili grešaka u mjerenju - faktora koji su sve kritičniji kod procesnih čvorova ispod 5nm.

Svojstva SiC keramičkog krajnjeg efektora

1. Visoka mehanička čvrstoća i tvrdoća

SiC keramika posjeduje izuzetnu mehaničku čvrstoću, sa čvrstoćom na savijanje koja često prelazi 400 MPa i vrijednostima tvrdoće po Vickersu iznad 2000 HV. To je čini vrlo otpornom na mehanička naprezanja, udarce i habanje, čak i nakon duže operativne upotrebe. Visoka krutost SiC-a također minimizira otklon tokom brzog prijenosa pločice, osiguravajući precizno i ponovljivo pozicioniranje.

2. Odlična termička stabilnost

Jedno od najvrijednijih svojstava SiC keramike je njihova sposobnost da izdrže izuzetno visoke temperature - često do 1600°C u inertnim atmosferama - bez gubitka mehaničkog integriteta. Njihov nizak koeficijent termičkog širenja (~4,0 x 10⁻⁶ /K) osigurava dimenzionalnu stabilnost pri termičkom cikliranju, što ih čini idealnim za primjene kao što su CVD, PVD i visokotemperaturno žarenje.

Pitanja i odgovori o keramičkom krajnjem efektoru SiC

P: Koji se materijal koristi u efektoru za kraj pločice?

O：Efektori za pločice obično se izrađuju od materijala koji nude visoku čvrstoću, termičku stabilnost i nisko stvaranje čestica. Među njima, silicijum karbidna (SiC) keramika je jedan od najnaprednijih i najpoželjnijih materijala. SiC keramika je izuzetno tvrda, termički stabilna, hemijski inertna i otporna na habanje, što je čini idealnom za rukovanje osjetljivim silicijumskim pločicama u čistim sobama i vakuumskim okruženjima. U poređenju sa kvarcom ili obloženim metalima, SiC nudi superiorniju dimenzionalnu stabilnost na visokim temperaturama i ne otpušta čestice, što pomaže u sprečavanju kontaminacije.