Oblata od kvarcnog stakla JGS1 JGS2 BF33 Vafera 8 inča 12 inča 725 ± 25 um ili prilagođena
Specifikacija
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Prečnik | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
Debljina | 0.10mm | 0.30mm | 0.40mm | 0.50mm | 0.50mm |
Primarni stan | 32.5mm | 47.5mm / 57,5 mm / Zarez | Zarez | Zarez | Zarez |
LTV (5mmx5mm) | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um | < 0.5um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Naklon | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Warp | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
Zaokruživanje ivica | U skladu sa SEMI M1.2 standardom/pogledajte IEC62276 | ||||
Vrsta površine | Jednostrano polirano / Dvostrano polirano | ||||
Polirana strana Ra | Ra≤1nm | ||||
Kriterijumi sa zadnje strane | Ra 0,2-0,7um ili prilagođeno |
Tabela parametara pločice od kvarcnog stakla JGS1 JGS2 BF33
Aplikacija
Oblatne od kvarcnog stakla napravljene od JGS1, JGS2 i BF33 široko se koriste u raznim industrijama visoke preciznosti. Ove pločice su idealne za proizvodnju poluprovodnika, uključujući podloge za fotomaske i optiku na nivou pločice. Takođe su pogodni za optičke komponente, lasere i senzore u industrijama kao što su telekomunikacije, vazduhoplovstvo i medicinski uređaji. Njihova visoka termička stabilnost i otpornost na termalni udar čine ih savršenim za okruženja s ekstremnim temperaturama, dok je njihova izuzetna propusnost ključna za ultraljubičastu (UV) i infracrvenu (IR) optiku.
Svojstva
Vrste materijala:
JGS1: Visoka UV propusnost, odlična za primjenu ultraljubičastog svjetla.
JGS2: Balansirana transmitantnost u UV, vidljivom i infracrvenom opsegu, pogodna za opću optičku upotrebu.
BF33: Borosilikatno staklo sa visokom hemijskom otpornošću i termičkom izdržljivošću. Opcije veličine:
Dostupan u standardnim veličinama od 8 inča i 12 inča.
Prilagođene veličine se mogu izraditi na osnovu specifičnih zahtjeva. Debljina:
Standardna debljina je 725 ± 25 μm.
Dostupna prilagodljiva debljina kako bi se zadovoljile različite industrijske potrebe.
Termička svojstva:
Odlična termička stabilnost, pogodna za upotrebu u okruženjima sa visokim temperaturama.
Visoka otpornost na termički udar.
Hemijska otpornost:
Jaka otpornost na koroziju od kiselina, lužina i većine hemikalija, posebno kod BF33.
Optička svojstva:
JGS1 i JGS2 pločice nude visoku optičku propusnost u ultraljubičastom (UV), vidljivom i infracrvenom (IR) opsegu.
Idealno za precizne optičke komponente, fotoniku i laserske aplikacije.
Kvalitet površine:
Visoka ravnost i glatkoća površine, osiguravajući preciznost u proizvodnji poluvodiča i optičkih uređaja.
Ova svojstva čine JGS1, JGS2 i BF33 pločice svestranim i pouzdanim za primjene visokih performansi u industrijama kao što su optika, elektronika i poluvodiči.
Sveukupno
Oblatne od kvarcnog stakla napravljene od JGS1, JGS2 i BF33 nude izuzetne performanse u raznim zahtjevnim aplikacijama. Dostupne u standardnim veličinama od 8 inča i 12 inča sa debljinom od 725 ± 25 μm, ove pločice su također prilagodljive da zadovolje specifične zahtjeve. JGS1 i JGS2 pružaju visoku optičku propusnost u UV, vidljivom i IR opsegu, dok BF33 nudi odličnu hemijsku otpornost i termičku stabilnost. Uz visoku ravnost i glatkoću površine, ove pločice su idealne za precizne industrije kao što su poluvodiči, optika i fotonika, osiguravajući pouzdanost i izdržljivost u ekstremnim okruženjima i kritičnim primjenama.