Uzorkovana safirna podloga PSS 2 inča 4 inča 6 inča ICP suho nagrizanje može se koristiti za LED čipove
Osnovna karakteristika
1. Karakteristike materijala: Materijal supstrata je monokristalni safir (Al₂O₃), visoke tvrdoće, visoke otpornosti na toplotu i hemijske stabilnosti.
2. Površinska struktura: Površina se formira fotolitografijom i nagrizanjem u periodične mikro-nano strukture, kao što su konusi, piramide ili heksagonalni nizovi.
3. Optičke performanse: Kroz dizajn površinskog uzorka, ukupna refleksija svjetlosti na graničnoj površini je smanjena, a efikasnost ekstrakcije svjetlosti je poboljšana.
4. Termičke performanse: Safirna podloga ima odličnu toplotnu provodljivost, pogodna za primjenu kod LED dioda velike snage.
5. Specifikacije veličine: Uobičajene veličine su 2 inča (50,8 mm), 4 inča (100 mm) i 6 inča (150 mm).
Glavna područja primjene
1. Proizvodnja LED dioda:
Poboljšana efikasnost ekstrakcije svjetlosti: PSS smanjuje gubitak svjetlosti kroz dizajn uzorka, značajno poboljšavajući svjetlinu i svjetlosnu efikasnost LED dioda.
Poboljšan kvalitet epitaksijalnog rasta: Struktura sa uzorkom pruža bolju bazu za rast GaN epitaksijalnih slojeva i poboljšava performanse LED dioda.
2. Laserska dioda (LD):
Laseri velike snage: Visoka toplinska provodljivost i stabilnost PSS-a pogodni su za laserske diode velike snage, poboljšavajući performanse i pouzdanost odvođenja topline.
Niska pragovna struja: Optimizirajte epitaksijalni rast, smanjite pragovnu struju laserske diode i poboljšajte efikasnost.
3. Fotodetektor:
Visoka osjetljivost: Visoka propusnost svjetlosti i niska gustoća defekata PSS-a poboljšavaju osjetljivost i brzinu odziva fotodetektora.
Široki spektralni odziv: pogodan za fotoelektričnu detekciju u ultraljubičastom do vidljivom području.
4. Energetska elektronika:
Otpornost na visoki napon: Visoka izolacija i termička stabilnost safira pogodne su za uređaje visokog napona.
Efikasno odvođenje toplote: Visoka toplotna provodljivost poboljšava performanse odvođenja toplote energetskih uređaja i produžava vijek trajanja.
5. Radiofrekventni uređaji:
Visokofrekventne performanse: Niski dielektrični gubici i visoka termička stabilnost PSS-a pogodni su za visokofrekventne RF uređaje.
Nizak šum: Visoka ravnost i niska gustoća defekata smanjuju šum uređaja i poboljšavaju kvalitet signala.
6. Biosenzori:
Detekcija visoke osjetljivosti: Visoka propusnost svjetlosti i hemijska stabilnost PSS-a pogodni su za biosenzore visoke osjetljivosti.
Biokompatibilnost: Biokompatibilnost safira čini ga pogodnim za medicinske i biodetekcijske primjene.
Uzorkovana safirna podloga (PSS) sa GaN epitaksijalnim materijalom:
Safirni supstrat sa uzorkom (PSS) je idealan supstrat za epitaksijalni rast GaN (galijum nitrida). Konstanta rešetke safira je bliska GaN, što može smanjiti neusklađenosti rešetke i defekte u epitaksijalnom rastu. Mikro-nano struktura PSS površine ne samo da poboljšava efikasnost ekstrakcije svjetlosti, već i poboljšava kvalitet kristala GaN epitaksijalnog sloja, čime se poboljšavaju performanse i pouzdanost LED diode.
Tehnički parametri
| Stavka | Uzorkovana safirna podloga (2~6 inča) | ||
| Prečnik | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Debljina | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Orijentacija površine | C-ravan (0001) van ugla prema M-osi (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-ravan (0001) van ugla prema A-osi (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primarna orijentacija stana | A-ravan (11-20) ± 1,0° | ||
| Primarna dužina ravne površine | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-ravan | 9 sati | ||
| Završna obrada prednje površine | Uzorkovano | ||
| Završna obrada zadnje površine | SSP: Fino brušen, Ra=0,8-1,2 μm; DSP: Epi-poliran, Ra<0,3 nm | ||
| Laserski mark | Zadnja strana | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| LUK | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| DEFORMACIJA | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Isključenje ruba | ≤2 mm | ||
| Specifikacija uzorka | Struktura oblika | Kupola, konus, piramida | |
| Visina uzorka | 1,6~1,8μm | ||
| Prečnik uzorka | 2,75~2,85μm | ||
| Prostor uzorka | 0,1~0,3μm | ||
XKH je specijaliziran za pružanje visokokvalitetnih, prilagođenih safirnih supstrata (PSS) s tehničkom podrškom i postprodajnom uslugom kako bi pomogao kupcima da postignu efikasne inovacije u području LED dioda, displeja i optoelektronike.
1. Visokokvalitetna PSS opskrba: Uzorkovane safirne podloge u različitim veličinama (2", 4", 6") za potrebe LED, displeja i optoelektronskih uređaja.
2. Prilagođeni dizajn: Prilagodite površinsku mikro-nano strukturu (kao što su konus, piramida ili heksagonalni niz) prema potrebama kupca kako biste optimizirali efikasnost ekstrakcije svjetlosti.
3. Tehnička podrška: Pružanje dizajna PSS aplikacija, optimizacije procesa i tehničkih konsultacija kako bi se kupcima pomoglo u poboljšanju performansi proizvoda.
4. Podrška za epitaksijalni rast: PSS usklađen s GaN epitaksijalnim materijalom osigurava visokokvalitetni rast epitaksijalnog sloja.
5. Testiranje i certifikacija: Dostaviti izvještaj o inspekciji kvalitete PSS-a kako bi se osiguralo da proizvodi ispunjavaju industrijske standarde.
Detaljan dijagram
