Supstrat saphire uzorci PSS 2inch 4inch 6 inča ICP suhog etching-a može se koristiti za LED čipove
Jezgra karakteristična
1. Karakteristike materijala: materijal podloge je jedinstveni kristalni safir (Al₂o₃), sa velikom tvrdoćom, visokom otpornošću na toplinu i hemijsku stabilnost.
2. Površinska konstrukcija: površina se formira fotolitografijom i jedrenjem u periodične mikro-nano konstrukcije, poput konusa, piramida ili šesterokutnih nizova.
3. Optičke performanse: kroz površinski dizajn uzoraka, ukupni odraz svjetla na sučelju je smanjen, a poboljšana je efikasnost ekstrakcije svjetla.
4. Termičke performanse: Sapphire Supstrat ima odličnu toplotnu provodljivost, pogodnu za velike LED aplikacije.
5. Specifikacije veličine: zajedničke veličine su 2 inča (50,8 mm), 4 inča (100 mm) i 6 inča (150 mm).
Glavna područja aplikacije
1. LED proizvodnja:
Poboljšana efikasnost ekstrakcije svjetla: PSS smanjuje gubitak svjetlosti kroz dizajn uzorka, značajno poboljšavajući LED svjetlinu i svjetlosnu efikasnost.
Poboljšani kvalitet rasta epitacije: Struktura uzorka pruža bolju bazu rasta za ganskim epitaksijskim slojevima i poboljšava LED performanse.
2. Laserska dioda (LD):
Laseri visoke snage: Visoka toplotna provodljivost i stabilnost PS-a pogodni su za velike laserske diode, poboljšavajući performanse i pouzdanost topline.
Struja niskog praga: Optimizirajte rast epitakse, smanjite struju praga laserske diode i poboljšajte efikasnost.
3. Photodetector:
Visoka osetljivost: visoki prenos lampica i gustoća mane oštećenja PSS-a poboljšava osjetljivost i brzinu odziva fotodetekata.
Širok spektralni odgovor: Pogodno za fotoelektričnu deteciju u ultraljubičastom do vidljive ponude.
4. Elektronika elektronike:
Visoko napon Otpornost: visoka izolacija i termička stabilnost Sapphire pogodna su za visokonaponske uređaje za napajanje.
Efikasna rasipacija topline: velika toplotna provodljivost poboljšava performanse rasipanja topline i produžavaju život usluga.
5. RF uređaji:
Performanse visoke frekvencije: Niski dielektrični gubitak i visoka toplotna stabilnost PS-a pogodna su za visoke frekvencije RF uređaja.
Niska buka: visoka ravnost i gustoća niske defekcije smanjuju buku uređaja i poboljšavaju kvalitetu signala.
6. Biosenzori:
Visoka detekcija osjetljivosti: Visoki prenos i hemijska stabilnost PSS pogodna su za visoke biosenzore osjetljivosti.
Biokompatibilnost: Biokompatibilnost safira čini ga pogodnim za medicinske i biodetizirane aplikacije.
Uzorna supstrat safira (PSS) sa ganskim epitaksijskim materijalom:
Supstrat saphhire uzorkovima (PSS) idealna je supstrat za rast epitaksijalnog rasta GAN (Gallium Nitrid). Konstanta rešetke Sapphire nalazi se u blizini Gana, što može smanjiti neusklađenosti rešetke i nedostatke u epitaksijskom rastu. Mikro-nano struktura PSS površine ne samo poboljšava efikasnost vađenja svjetlosti, već poboljšava kristalnu kvalitetu kaksijalnog sloja GAN-a, čime poboljšava performanse i pouzdanost LED-a.
Tehnički parametri
Predmet | Ulomak sapphire supstrat (2 ~ 6inch) | ||
Prečnik | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Debljina | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Površinska orijentacija | C-ravnina (0001) izvan m-os-osi (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-ravnina (0001) izvan ase prema osi (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Primarna ravna orijentacija | Anal (11-20) ± 1,0 ° | ||
Primarna ravna dužina | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-avion | 9-sat | ||
Prednja površinska obrada | Uzorak | ||
Back površina | SSP: Fino zemlja, ra = 0,8-1,2um; DSP: Epi-polirani, ra <0,3nm | ||
Laser | Stražnja strana | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
Luk | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
Warp | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Isključenje ivica | ≤2 mm | ||
Specifikacija uzoraka | Struktura oblika | Kupola, konus, piramida | |
Visina uzoraka | 1.6 ~ 1.8μm | ||
Promjer uzoraka | 2,75 ~ 2,85μm | ||
Uzorak prostora | 0,1 ~ 0.3 μm |
XKH je specijaliziran za pružanje visokokvalitetnih, prilagođenih safirnih supstrata uzorkovima (PSS) s tehničkom podrškom i uslugom nakon prodaje kako bi se kupcima pomoglo da postignu efikasnu inovaciju u polju LED, prikazivanja i optoelektronike.
1. Visokokvalitetni PSS opskrbstvo: uzorke sapphire podloge u raznim veličinama (2 ", 4", 6 ") kako bi se zadovoljile potrebe LED, prikazivanja i optoelektronskih uređaja.
2. Prilagođeni dizajn: Prilagodite površinu mikro-nano strukturu (poput konusa, piramide ili šesterokutne matrice) prema kupcu treba optimizirati efikasnost ekstrakcije svjetla.
3. Tehnička podrška: Navedite PSS dizajn aplikacija, optimizaciju procesa i tehničku konsultaciju za pomoć kupcima da poboljšaju performanse proizvoda.
4. Podrška za rast epitacije: PSS podudaran sa kaksijalnim materijalom GAN-a pruža se kako bi se osigurao visokokvalitetni rast epitaksije.
5. Ispitivanje i certificiranje: Navedite PSS izveštaj o inspekciji kvaliteta kako bi se osiguralo da proizvodi zadovoljavaju industrijske standarde.
Detaljan dijagram


