P-tip SiC pločica 4H/6H-P 3C-N 6 inča debljine 350 μm sa primarnom ravnom orijentacijom
Specifikacija 4H/6H-P Tip SiC kompozitne podloge Zajednička tabela parametara
6 Prečnik inča Podloga od silicijum karbida (SiC). Specifikacija
Ocjena | Nulta MPD proizvodnjaOcjena (Z ocjena) | Standardna proizvodnjaOcjena (P ocjena) | Dummy Grade (D ocjena) | ||
Prečnik | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Debljina | 350 μm ± 25 μm | ||||
Wafer Orientation | -Offosa: 2,0°-4,0° prema [1120] ± 0,5° za 4H/6H-P, na osi: 〈111〉 ± 0,5° za 3C-N | ||||
Micropipe Density | 0 cm-2 | ||||
Otpornost | p-tip 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-tip 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Primarna ravna orijentacija | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Primarna ravna dužina | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Sekundarna ravna dužina | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Sekundarna ravna orijentacija | Silicijum licem prema gore: 90° CW. od početnog položaja ± 5,0° | ||||
Edge Exclusion | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Roughness | Poljski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Rubne pukotine zbog svjetlosti visokog intenziteta | Nema | Kumulativna dužina ≤ 10 mm, pojedinačna dužina ≤ 2 mm | |||
Hex ploče sa svjetlom visokog intenziteta | Kumulativna površina ≤0,05% | Kumulativna površina ≤0,1% | |||
Polytype Areas by High Intensity Light | Nema | Kumulativna površina≤3% | |||
Visual Carbon Inclusions | Kumulativna površina ≤0,05% | Kumulativna površina ≤3% | |||
Silicijumske površinske ogrebotine od svetla visokog intenziteta | Nema | Kumulativna dužina≤1×prečnik pločice | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Nije dozvoljeno ≥0,2 mm širine i dubine | 5 dozvoljeno, ≤1 mm svaki | |||
Kontaminacija površine silikonom visokog intenziteta | Nema | ||||
Pakovanje | Kaseta sa više vafla ili kontejner za jednu vaflu |
napomene:
※ Granice defekata primjenjuju se na cijelu površinu pločice osim na područje isključenja rubova. # Treba provjeriti ogrebotine na Si lice o
SiC pločica P-tipa, 4H/6H-P 3C-N, sa svojom veličinom od 6 inča i debljinom od 350 μm, igra ključnu ulogu u industrijskoj proizvodnji energetske elektronike visokih performansi. Njegova odlična toplotna provodljivost i visok napon proboja čine ga idealnim za proizvodnju komponenti kao što su prekidači za napajanje, diode i tranzistori koji se koriste u okruženjima sa visokim temperaturama kao što su električna vozila, električne mreže i sistemi za obnovljivu energiju. Sposobnost pločice da efikasno radi u teškim uslovima osigurava pouzdane performanse u industrijskim aplikacijama koje zahtijevaju veliku gustinu snage i energetsku efikasnost. Pored toga, njegova primarna ravna orijentacija pomaže u preciznom poravnanju tokom proizvodnje uređaja, povećavajući efikasnost proizvodnje i konzistentnost proizvoda.
Prednosti N-tipa SiC kompozitnih supstrata uključuju
- Visoka toplotna provodljivost: P-tip SiC pločice efikasno rasipaju toplotu, što ih čini idealnim za aplikacije na visokim temperaturama.
- Visok probojni napon: Sposoban da izdrži visoke napone, osiguravajući pouzdanost u energetskoj elektronici i visokonaponskim uređajima.
- Otpornost na teška okruženja: Odlična izdržljivost u ekstremnim uvjetima, kao što su visoke temperature i korozivna okruženja.
- Efikasna konverzija snage: Doping tipa P olakšava efikasno rukovanje snagom, čineći pločicu pogodnom za sisteme za konverziju energije.
- Primarna ravna orijentacija: Osigurava precizno poravnanje tokom proizvodnje, poboljšavajući tačnost i konzistentnost uređaja.
- Tanka struktura (350 μm): Optimalna debljina vafla podržava integraciju u napredne elektronske uređaje sa ograničenim prostorom.
Sve u svemu, P-tip SiC pločica, 4H/6H-P 3C-N, nudi niz prednosti koje ga čine veoma pogodnim za industrijske i elektronske aplikacije. Njegova visoka toplotna provodljivost i probojni napon omogućavaju pouzdan rad u visokotemperaturnim i visokonaponskim okruženjima, dok njegova otpornost na oštre uslove osigurava trajnost. Doping tipa P omogućava efikasnu konverziju snage, što ga čini idealnim za energetsku elektroniku i energetske sisteme. Dodatno, primarna ravna orijentacija vafla osigurava precizno poravnanje tokom procesa proizvodnje, poboljšavajući konzistentnost proizvodnje. Sa debljinom od 350 μm, dobro je pogodan za integraciju u napredne, kompaktne uređaje.