N-tip SiC na Si kompozitnim podlogama dijametra 6 inča
| 等级Ocjena | U 级 | P级 | D级 |
| Nizak stepen BPD-a | Proizvodni razred | Dummy Grade | |
| 直径Prečnik | 150,0 mm±0,25 mm | ||
| 厚度Debljina | 500 μm±25 μm | ||
| 晶片方向Orijentacija pločice | Van ose: 4,0° prema < 11-20 > ±0,5° za 4H-N Na osi: <0001>±0,5° za 4H-SI | ||
| 主定位边方向Primarni stan | {10-10}±5,0° | ||
| 主定位边长度Primarna dužina ravne površine | 47,5 mm±2,5 mm | ||
| 边缘Isključenje ruba | 3 mm | ||
| 总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow /Warp | ≤15μm / ≤40μm / ≤60μm | ||
| 微管密度和基面位错MPD i BPD | MPD≤1 cm-2 | MPD≤5 cm-2 | MPD≤15 cm-2 |
| BPD≤1000 cm-2 | |||
| 电阻率Otpornost | ≥1E5 Ω·cm | ||
| 表面粗糙度Hrapavost | Poljski Ra≤1 nm | ||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||
| 裂纹(强光灯观测) # | Nijedan | Kumulativna dužina ≤10 mm, pojedinačna dužina ≤2 mm | |
| Pukotine uzrokovane svjetlom visokog intenziteta | |||
| 六方空洞 (强光灯观测)* | Kumulativna površina ≤1% | Kumulativna površina ≤5% | |
| Šesterokutne ploče pod visokim intenzitetom svjetla | |||
| 多型(强光灯观测)* | Nijedan | Kumulativna površina ≤ 5% | |
| Politipizirana područja svjetlom visokog intenziteta | |||
| 划痕(强光灯观测)*& | 3 ogrebotine do 1× prečnika pločice | 5 ogrebotina do 1× prečnika pločice | |
| Ogrebotine od svjetlosti visokog intenziteta | kumulativna dužina | kumulativna dužina | |
| 崩边# Čip na ivici | Nijedan | 5 dozvoljeno, ≤1 mm svaki | |
| 表面污染物 (强光灯观测) | Nijedan | ||
| Kontaminacija svjetlošću visokog intenziteta | |||
Detaljan dijagram
