Kompozitne podloge N-tipa SiC dijametra 6 inča, visokokvalitetne monokristalne i niskokvalitetne podloge
Tabela uobičajenih parametara kompozitnih podloga SiC N-tipa
| 项目Stavke | 指标Specifikacija | 项目Stavke | 指标Specifikacija |
| 直径Prečnik | 150±0,2 mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Hrapavost prednje (Si-stranice) | Ra≤0,2 nm (5 μm * 5 μm) |
| 晶型Politip | 4H | Ogrebotina, krhotina, pukotina na ivici (vizuelni pregled) | Nijedan |
| 电阻率Otpornost | 0,015-0,025 oma · cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Debljina sloja transfera | ≥0,4μm | 翘曲度Warp | ≤35μm |
| 空洞Praznina | ≤5 kom/pločica (2 mm > D > 0,5 mm) | 总厚度Debljina | 350±25μm |
Oznaka "N-tip" odnosi se na vrstu dopiranja koje se koristi u SiC materijalima. U fizici poluprovodnika, dopiranje uključuje namjerno uvođenje nečistoća u poluprovodnik radi promjene njegovih električnih svojstava. Dopiranje N-tipa uvodi elemente koji osiguravaju višak slobodnih elektrona, dajući materijalu negativnu koncentraciju nosioca naboja.
Prednosti kompozitnih podloga N-tipa SiC uključuju:
1. Performanse na visokim temperaturama: SiC ima visoku toplotnu provodljivost i može raditi na visokim temperaturama, što ga čini pogodnim za elektronske primjene velike snage i visoke frekvencije.
2. Visok probojni napon: SiC materijali imaju visok probojni napon, što im omogućava da izdrže visoka električna polja bez električnog proboja.
3. Hemijska i otpornost na okolinu: SiC je hemijski otporan i može izdržati teške uslove okoline, što ga čini pogodnim za upotrebu u zahtjevnim primjenama.
4. Smanjeni gubitak snage: U poređenju sa tradicionalnim materijalima na bazi silicija, SiC supstrati omogućavaju efikasniju konverziju energije i smanjuju gubitak snage u elektronskim uređajima.
5. Široki energetski razmak: SiC ima široki energetski razmak, što omogućava razvoj elektronskih uređaja koji mogu raditi na višim temperaturama i većim gustoćama snage.
Sveukupno, kompozitne podloge SiC N-tipa nude značajne prednosti za razvoj visokoperformansnih elektronskih uređaja, posebno u primjenama gdje su rad na visokim temperaturama, visoka gustoća snage i efikasna konverzija energije ključni.