LT litijum tantalat (LiTaO3) kristal, 2 inča/3 inča/4 inča/6 inča, orijentacija Y-42°/36°/108°, debljina 250-500um
Tehnički parametri
Ime | LiTaO3 optičkog kvaliteta | Nivo zvučne tabele LiTaO3 |
Aksijalni | Z rez +/- 0,2° | 36° Y rez / 42° Y rez / X rez(+ / - 0,2°) |
Prečnik | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm100 mm +/- 0,3 mm 0 ili 150±0,5 mm |
Referentna ravan | 22mm +/- 2mm | 22 mm +/- 2 mm32 mm +/- 2 mm |
Debljina | 500um +/-5mm1000um +/-5mm | 500um +/-20mm350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Curiejeva temperatura | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA metoda) | 605 °C +/-3 °C (DTA metoda) |
Kvalitet površine | Dvostrano poliranje | Dvostrano poliranje |
Zakošene ivice | zaobljavanje rubova | zaobljavanje rubova |
Ključne karakteristike
1. Kristalna struktura i električne performanse
· Kristalografska stabilnost: 100% dominacija politipa 4H-SiC, nula multikristalnih inkluzija (npr. 6H/15R), sa XRD krivuljom ljuljanja pune širine na polovini maksimuma (FWHM) ≤32,7 lučnih sekundi.
· Visoka pokretljivost nosioca naboja: Pokretljivost elektrona od 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) i pokretljivost šupljina od 380 cm²/V·s, što omogućava dizajn visokofrekventnih uređaja.
·Otpornost na zračenje: Otporan na neutronsko zračenje od 1 MeV s pragom oštećenja od pomjeranja od 1×10¹⁵ n/cm², idealan za vazduhoplovne i nuklearne primjene.
2. Termička i mehanička svojstva
· Izuzetna toplotna provodljivost: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), trostruko veća od silicija, podržava rad iznad 200°C.
· Nizak koeficijent termičkog širenja: CTE od 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), što osigurava kompatibilnost sa pakovanjem na bazi silikona i minimizira termički stres.
3. Kontrola defekata i preciznost obrade
· Gustina mikrocijevi: <0,3 cm⁻² (8-inčne pločice), gustina dislokacija <1.000 cm⁻² (potvrđeno nagrizanjem KOH).
· Kvalitet površine: CMP-polirano do Ra <0,2 nm, zadovoljava zahtjeve ravnosti EUV litografskog razreda.
Ključne primjene
Domena | Scenariji primjene | Tehničke prednosti |
Optičke komunikacije | 100G/400G laseri, hibridni moduli silicijumske fotonike | InP supstrati omogućavaju direktnu zabranjenu zonu (1,34 eV) i heteroepitaksiju na bazi Si, smanjujući gubitak optičkog spajanja. |
Vozila nove energije | Visokonaponski inverteri od 800 V, ugrađeni punjači (OBC) | 4H-SiC supstrati izdržavaju >1.200 V, smanjujući gubitke provodljivosti za 50% i volumen sistema za 40%. |
5G komunikacije | Milimetarski RF uređaji (PA/LNA), pojačala snage baznih stanica | Poluizolacijske SiC podloge (otpornost >10⁵ Ω·cm) omogućavaju pasivnu integraciju visokih frekvencija (60 GHz+). |
Industrijska oprema | Senzori visoke temperature, strujni transformatori, monitori nuklearnih reaktora | InSb supstrati sa početnim razmakom od 0,17 eV pružaju magnetsku osjetljivost do 300% pri 10 T. |
LiTaO₃ pločice - ključne karakteristike
1. Vrhunske piezoelektrične performanse
· Visoki piezoelektrični koeficijenti (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5%) omogućavaju visokofrekventne SAW/BAW uređaje sa gubitkom umetnutog signala <1,5dB za 5G RF filtere
· Odlična elektromehanička sprega podržava dizajn filtera širokog propusnog opsega (≥5%) za primjene ispod 6 GHz i mmWave
2. Optička svojstva
· Širokopojasna transparentnost (>70% prenosa od 400-5000nm) za elektrooptičke modulatore koji postižu propusni opseg >40GHz
· Jaka nelinearna optička susceptibilnost (χ⁽²⁾~30pm/V) olakšava efikasno generiranje drugog harmonika (SHG) u laserskim sistemima
3. Stabilnost okoliša
· Visoka Curiejeva temperatura (600°C) održava piezoelektrični odziv u automobilskim okruženjima (-40°C do 150°C)
· Hemijska inertnost prema kiselinama/lugovima (pH 1-13) osigurava pouzdanost u industrijskim senzorskim primjenama
4. Mogućnosti prilagođavanja
· Orijentacijski inženjering: X-rez (51°), Y-rez (0°), Z-rez (36°) za prilagođene piezoelektrične odzive
· Opcije dopiranja: dopirano Mg (otpornost na optička oštećenja), dopirano Zn (poboljšano d₃₃)
· Površinska obrada: poliranje spremno za epitaksijalnu obradu (Ra<0,5 nm), ITO/Au metalizacija
LiTaO₃ pločice - primarne primjene
1. RF prednji moduli
· 5G NR SAW filteri (opseg n77/n79) sa temperaturnim koeficijentom frekvencije (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ultra-širokopojasni BAW rezonatori za WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Integrisana fotonika
· Brzi Mach-Zehnderovi modulatori (>100 Gbps) za koherentnu optičku komunikaciju
· QWIP infracrveni detektori sa graničnim talasnim dužinama koje se mogu podešavati od 3-14μm
3. Automobilska elektronika
· Ultrazvučni parking senzori sa radnom frekvencijom >200kHz
· TPMS piezoelektrični pretvarači koji izdržavaju termičke cikluse od -40°C do 125°C
4. Odbrambeni sistemi
· EW prijemni filteri sa potiskivanjem izvan opsega >60dB
· IR prozori tragača rakete koji emituju 3-5μm MWIR zračenje
5. Nove tehnologije
· Optomehanički kvantni pretvarači za mikrotalasnu u optičku konverziju
· PMUT nizovi za medicinsko ultrazvučno snimanje (rezolucija >20MHz)
LiTaO₃ pločice - XKH usluge
1. Upravljanje lancem snabdijevanja
· Obrada od bale do pločice sa rokom isporuke od 4 sedmice za standardne specifikacije
· Troškovno optimizirana proizvodnja koja pruža 10-15% cjenovne prednosti u odnosu na konkurenciju
2. Prilagođena rješenja
· Orijentacija specifična za oblaganje: 36°±0,5° Y-rez za optimalne performanse SAW-a
· Dopirani sastavi: MgO (5mol%) dopiranje za optičke primjene
Usluge metalizacije: Oblikovanje Cr/Au (100/1000Å) elektroda
3. Tehnička podrška
· Karakterizacija materijala: XRD krivulje ljuljanja (FWHM<0,01°), AFM analiza površine
· Simulacija uređaja: FEM modeliranje za optimizaciju dizajna SAW filtera
Zaključak
LiTaO₃ pločice nastavljaju omogućavati tehnološki napredak u RF komunikacijama, integriranoj fotonici i senzorima za teške uvjete okoline. XKH-ova stručnost u materijalima, preciznost proizvodnje i podrška u inženjerstvu primjene pomažu kupcima da prevladaju dizajnerske izazove u elektroničkim sistemima sljedeće generacije.


