LiTaO3 pločica 2-8 inča 10x10x0,5 mm 1sp 2sp za 5G/6G komunikacije
Tehnički parametri
Ime | LiTaO3 optičkog kvaliteta | Nivo zvučne tabele LiTaO3 |
Aksijalni | Z rez +/- 0,2° | 36° Y rez / 42° Y rez / X rez (+ / - 0,2°) |
Prečnik | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm 0 ili 150±0,5 mm |
Referentna ravan | 22mm +/- 2mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Debljina | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Curiejeva temperatura | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA metoda) | 605 °C +/-3 °C (DTA metoda) |
Kvalitet površine | Dvostrano poliranje | Dvostrano poliranje |
Zakošene ivice | zaobljavanje rubova | zaobljavanje rubova |
Ključne karakteristike
1. Električne i optičke performanse
· Elektrooptički koeficijent: r33 dostiže 30 pm/V (X-cut), 1,5× više od LiNbO3, omogućavajući ultraširokopojasnu elektrooptičku modulaciju (propusni opseg >40 GHz).
· Široki spektralni odziv: Raspon transmisije 0,4–5,0 μm (debljina 8 mm), s ultraljubičastom apsorpcijskom granicom niskom do 280 nm, idealno za UV lasere i uređaje s kvantnim tačkama.
· Nizak piroelektrični koeficijent: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), što osigurava stabilnost kod infracrvenih senzora visokih temperatura.
2. Termička i mehanička svojstva
· Visoka toplotna provodljivost: 4,6 W/m·K (X-cut), četverostruko veća od kvarca, otporna na termičke cikluse od -200 do 500°C.
· Nizak koeficijent termičkog širenja: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), kompatibilan sa silikonskim pakovanjem radi minimiziranja termičkog naprezanja.
3. Kontrola grešaka i preciznost obrade
· Gustina mikrocijevi: <0,1 cm⁻² (8-inčne pločice), gustina dislokacija <500 cm⁻² (potvrđeno nagrizanjem KOH).
· Kvalitet površine: CMP-polirano do Ra <0,5 nm, zadovoljava zahtjeve ravnosti EUV litografskog razreda.
Ključne primjene
Domena | Scenariji primjene | Tehničke prednosti |
Optičke komunikacije | 100G/400G DWDM laseri, hibridni moduli silicijumske fotonike | Širok spektralni prijenos i niski gubici u valovodu LiTaO3 pločice (α <0,1 dB/cm) omogućavaju proširenje C-pojasa. |
5G/6G komunikacije | SAW filteri (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filteri | Pločice rezane u obliku slova Y od 42° postižu Kt² >15%, pružajući niske gubitke pri unošenju (<1,5 dB) i visoko okretanje (>30 dB). |
Kvantne tehnologije | Detektori jednog fotona, parametarski izvori za konverziju naniže frekvencije | Visok nelinearni koeficijent (χ(2)=40 pm/V) i niska brzina brojanja u tami (<100 brojanja/s) poboljšavaju kvantnu vjernost. |
Industrijska senzorika | Senzori pritiska za visoke temperature, strujni transformatori | Piezoelektrični odziv LiTaO3 pločice (g33 >20 mV/m) i tolerancija na visoke temperature (>400°C) pogodni su za ekstremne uvjete. |
XKH usluge
1. Izrada pločica po narudžbi
· Veličina i rezanje: pločice od 2–8 inča sa X/Y/Z-rezom, 42°Y-rezom i prilagođenim ugaonim rezovima (tolerancija ±0,01°).
· Kontrola dopinga: Dopiranje Fe, Mg Czochralskijevom metodom (raspon koncentracija 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) radi optimizacije elektrooptičkih koeficijenata i termičke stabilnosti.
2. Napredne procesne tehnologije
· Periodično poliranje (PPLT): Smart-Cut tehnologija za LTOI pločice, koja postiže preciznost perioda domena od ±10 nm i kvazi-fazno usklađenu (QPM) konverziju frekvencije.
· Heterogena integracija: Kompozitne pločice (POI) od LiTaO3 na bazi Si sa kontrolom debljine (300–600 nm) i toplotnom provodljivošću do 8,78 W/m·K za visokofrekventne SAW filtere.
3. Sistemi upravljanja kvalitetom
· Testiranje od početka do kraja: Ramanova spektroskopija (verifikacija politipa), XRD (kristalnost), AFM (morfologija površine) i testiranje optičke ujednačenosti (Δn <5×10⁻⁵).
4. Podrška globalnom lancu snabdijevanja
· Proizvodni kapacitet: Mjesečna proizvodnja >5.000 pločica (8 inča: 70%), sa hitnom isporukom u roku od 48 sati.
· Logistička mreža: Pokrivenost u Evropi, Sjevernoj Americi i Azijsko-pacifičkoj regiji putem zračnog/pomorskog prijevoza s pakiranjem kontroliranom temperaturom.


