Visokoperformansni krajnji efektor od aluminijumske keramike (viljuška) za automatizaciju poluprovodnika i čistih soba

Kratak opis:

Alumina keramički krajnji efektor, također poznat kao keramička viljuška ili robotska keramička ruka, je visokoprecizna komponenta za rukovanje dizajnirana za automatizirane sisteme u poluprovodničkim, fotonaponskim, panel displejima i laboratorijskim okruženjima visoke čistoće. Projektovan je da pruži izuzetnu termičku stabilnost, mehaničku krutost i hemijsku otpornost, nudeći čist, pouzdan i siguran transport osjetljivih materijala kao što su silicijumske pločice, staklene podloge i elektronske mikrokomponente.

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

Detaljan dijagram

Predstavljanje proizvoda

Kao vrsta robotskog krajnjeg efektora, ova keramička komponenta predstavlja konačni interfejs između sistema automatizacije i radnog komada. Igra ključnu ulogu u preciznom prenosu, poravnanju, utovaru/istovaru i zadacima pozicioniranja u čistim sobama i vakuumskim okruženjima.

keramička-ruka-za-pogon-poluprovodnika-G13

keramička-ruka-za-pogon-poluprovodnika-G10

keramička-ruka-za-pogon-poluprovodnika-G07

Pregled materijala – Alumina keramika (Al₂O₃)

Alumina keramika je visoko stabilan i hemijski inertan tehnički keramički materijal poznat po svojim odličnim mehaničkim i električnim svojstvima. Alumina visoke čistoće (≥ 99,5%) koja se koristi u ovim krajnjim efektorima osigurava:

Visoka tvrdoća (Mohs 9)Odmah nakon dijamanta, aluminijev oksid pruža ekstremnu otpornost na habanje.
Sposobnost za visoke temperatureOdržava strukturni integritet iznad 1600°C.
Hemijska inertnostOtporno na kiseline, alkalije, rastvarače i okruženja plazma nagrizanja.
Električna izolacijaSa visokom dielektričnom čvrstoćom i niskim dielektričnim gubicima.
Nisko termičko širenjeOsigurava dimenzionalnu stabilnost u okruženjima termičkih ciklusa.
Nisko generiranje česticaNeophodno za kompatibilnost sa čistim sobama (klasa 10 do klase 1000).

Ove karakteristike čine aluminijumsku keramiku idealnom za kritične operacije u industrijama osjetljivim na kontaminaciju.

Funkcionalne aplikacije

Krajnji efektor od aluminijske keramike široko se primjenjuje u visokotehnološkim industrijskim procesima, posebno tamo gdje tradicionalni metalni ili plastični materijali ne zadovoljavaju zahtjeve zbog termičkog širenja, kontaminacije ili korozije. Ključna područja primjene uključuju:

Prijenos poluprovodničke pločice
Sistemi za utovar i istovar fotolitografije
Rukovanje staklenim podlogama u OLED i LCD linijama
Prijenos kristalnih silicijumskih pločica u proizvodnji solarnih ćelija
Automatizirana optička ili mikroelektronska inspekcija
Transport uzoraka u analitičkim ili biomedicinskim laboratorijama
Sistemi za automatizaciju vakuumskog okruženja

Njegova sposobnost rada bez unošenja čestica ili statičkog naboja čini ga nezamjenjivim za precizne robotske operacije u automatizaciji čistih soba.

Karakteristike dizajna i prilagođavanje

Svaki keramički krajnji efektor je konstruiran tako da odgovara specifičnoj robotskoj ruci ili sistemu za rukovanje pločicama. Podržavamo potpunu prilagodbu na osnovu:

Kompatibilnost veličine pločice2", 4", 6", 8", 12" i više
Geometrija i razmak utoraOmogućava prianjanje rubova, potporu sa zadnje strane ili dizajn sa zarezima na pločicama
Usisni otvoriIntegrisani vakuumski otvori ili kanali za beskontaktno rukovanje
Konfiguracija montažeRupe, navoji, utori prilagođeni prirubnici krajnjeg alata vašeg robota
Površinska obradaPolirana, lepana ili fino brušena završna obrada (dostupno Ra < 0,2 µm)
Zaštita rubovaZaobljeni uglovi ili zakošeni rubovi kako bi se izbjeglo oštećenje pločice

Korištenjem CAD crteža ili 3D modela koje dostavljaju kupci, naši inženjeri mogu optimizirati svaku viljušku u pogledu težine, čvrstoće i čistoće.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Prednosti keramičkih krajnjih efektora

Funkcija	Korist
Visoka mehanička krutost	Održava dimenzijsku preciznost pod robotskim silama opterećenja
Odlične termalne performanse	Pouzdano radi u okruženjima visoke temperature ili plazme
Nula kontaminacije metalima	Nema rizika od kontaminacije ionima u kritičnoj obradi poluprovodnika
Površina s niskim trenjem	Smanjuje rizik od ogrebotina na pločicama ili staklenim podlogama
Antistatički i nemagnetski	Ne privlači prašinu niti utiče na magnetski osjetljive komponente
Dug vijek trajanja	Vrhunska otpornost na habanje u ponavljajućim ciklusima automatizacije velikom brzinom
Ultra-čista kompatibilnost	Pogodno za čiste sobe prema ISO 14644 standardu (klasa 100 i niže)

U poređenju sa plastičnim ili aluminijumskim drškama, aluminijumska keramika pruža dramatično poboljšanu hemijsku i fizičku stabilnost uz minimalne zahtjeve za održavanjem.

Nekretnina	Metalna ruka	Plastična ruka	Keramička ruka od aluminijevog oksida
Tvrdoća	Umjereno	Nisko	Vrlo visoko (Mohsova skala 9)
Termička stabilnost	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Hemijska otpornost	Umjereno	Siromašno	Odlično
Pogodnost za čiste prostorije	Srednji	Nisko	Vrlo visoko
Otpornost na habanje	Srednji	Nisko	Izvanredno
Dielektrična čvrstoća	Nisko	Srednji	Visoko
Precizna obrada po narudžbi	Ograničeno	Umjereno	Visoko (moguće ±0,01 mm)

Tehničke specifikacije

Parametar	Vrijednost
Materijal	Visokočistoća aluminijevog oksida (≥ 99,5%)
Radna temperatura	Do 1600°C
Hrapavost površine	Ra ≤ 0,2 µm (opciono)
Kompatibilne veličine pločica	Od 2" do 12" ili prilagođeno
Tolerancija ravnosti	±0,01 mm (zavisi od primjene)
Podrška za vakuumsko usisavanje	Opcionalni, prilagodljivi kanali
Opcije montaže	Prolazni vijci, prirubnica, prorezi

Često postavljana pitanja (FAQ)

P1: Može li se krajnji efektor integrirati u postojeće robotske sisteme?
A1:Da. Podržavamo prilagođavanje na osnovu vašeg robotskog interfejsa. Možete nam poslati CAD crtež ili dimenzije prirubnice za preciznu adaptaciju.

P2: Hoće li se keramičke ručke lako slomiti tokom upotrebe?
A2:Iako je keramika po prirodi krhka, naši dizajni koriste optimiziranu geometriju kako bi se smanjila koncentracija napona. Pod pravilnim uvjetima upotrebe, pružaju znatno duži vijek trajanja od metala ili plastike.

P3: Da li je moguće koristiti ovo u komorama za ultra-visoki vakuum ili plazma nagrizanje?
A3:Da. Alumina keramika ne ispušta gasove, termički je stabilna i otporna na koroziju - savršeno pogodna za okruženja visokog vakuuma, reaktivnih gasova ili plazme.

P4: Kako se ove komponente čiste ili održavaju?
A4:Mogu se čistiti demineraliziranom vodom, alkoholom ili deterdžentima kompatibilnim sa čistim sobama. Zbog njihove hemijske stabilnosti i inertne površine nije potrebno posebno održavanje.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbidne SIC, kvarcne i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.