FZ CZ Si wafer na lageru 12-inčni Silicijumski wafer Prime ili Test
Uvođenje kutije za oblatne
Polirani vafli
Silicijumske pločice koje su specijalno polirane sa obje strane kako bi se dobila površina ogledala. Vrhunske karakteristike poput čistoće i ravnosti definiraju najbolje karakteristike ove pločice.
Nedopirane silicijumske pločice
Poznati su i kao intrinzične silicijumske pločice. Ovaj poluprovodnik je čisti kristalni oblik silicija bez prisustva bilo kakvih primjesa u cijeloj pločici, što ga čini idealnim i savršenim poluprovodnikom.
Dopirane silicijumske pločice
N-tip i P-tip su dvije vrste dopiranih silicijumskih pločica.
Silicijumske pločice dopirane N-tipom sadrže arsen ili fosfor. Široko se koristi u proizvodnji naprednih CMOS uređaja.
Silicijumske pločice P-tipa dopirane borom. Uglavnom se koristi za izradu štampanih kola ili fotolitografiju.
Epitaksijalne pločice
Epitaksijalne pločice su konvencionalne pločice koje se koriste za postizanje integriteta površine. Epitaksijalne pločice su dostupne u debelim i tankim pločicama.
Višeslojne epitaksijalne pločice i debele epitaksijalne pločice se također koriste za regulaciju potrošnje energije i kontrolu snage uređaja.
Tanke epitaksijalne pločice se često koriste u vrhunskim MOS instrumentima.
SOI pločice
Ove pločice se koriste za električnu izolaciju finih slojeva monokristalnog silicija od cijele silicijumske pločice. SOI pločice se često koriste u silicijumskoj fotonici i visokoperformansnim RF primjenama. SOI pločice se također koriste za smanjenje parazitskog kapaciteta uređaja u mikroelektronskim uređajima, što pomaže u poboljšanju performansi.
Zašto je izrada pločica teška?
Silicijumske pločice od 12 inča (30 cm) je vrlo teško rezati u smislu prinosa. Iako je silicijum tvrd, on je i krhak. Hrapava područja nastaju jer se piljeni rubovi pločice skloni lomljenju. Dijamantski diskovi se koriste za zaglađivanje rubova pločice i uklanjanje bilo kakvih oštećenja. Nakon rezanja, pločice se lako lome jer sada imaju oštre rubove. Rubovi pločice su dizajnirani na takav način da se eliminišu krhki, oštri rubovi i smanji mogućnost klizanja. Kao rezultat operacije oblikovanja ruba, podešava se prečnik pločice, pločica se zaokružuje (nakon rezanja, odrezana pločica je ovalna), a izrađuju se i urezi ili orijentisane ravni.
Detaljan dijagram


