8-inčni SiC 4H-N SiC podloga za proizvodnju wafer

8-inčni SiC vafer za proizvodnju 4H-N SiC podloga Istaknuta slika

Kratki opis:

8-inčni SiC supstrati se koriste u elektronskim uređajima velike snage, kao što su energetski MOSFET-ovi (metalni oksidni poluprovodnički tranzistori sa efektom polja), Šotkijeve diode i drugi energetski poluprovodnički uređaji.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Sljedeća tabela prikazuje specifikacije naših 8-inčnih SiC pločica:

8-inčni N-tip SiC DSP specifikacije
Broj	Stavka	Jedinica	Proizvodnja	Istraživanja	Dummy
1:parametri
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	površinska orijentacija	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Električni parametar
2.1	dopant	--	n-tip dušika	n-tip dušika	n-tip dušika
2.2	otpornost	ohm ·cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Mehanički parametar
3.1	prečnika	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	debljina	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Orijentacija zareza	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Dubina zareza	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Luk	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Struktura
4.1	gustina mikro cevi	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	sadržaj metala	atoma/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Front kvaliteta
5.1	front	--	Si	Si	Si
5.2	završna obrada površine	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	čestica	ea/wafer	≤100 (veličina≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	ogrebotina	ea/wafer	≤5, Ukupna dužina≤200mm	NA	NA
5.5	Edge strugotine/udubljenja/pukotine/mrlje/kontaminacija	--	Nema	Nema	NA
5.6	Politipske oblasti	--	Nema	Površina ≤10%	Površina ≤30%
5.7	prednje oznake	--	Nema	Nema	Nema
6: Kvalitet leđa
6.1	zadnji završetak	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	ogrebotina	mm	NA	NA	NA
6.3	Stražnji defekt rub čips/udubljenja	--	Nema	Nema	NA
6.4	Hrapavost leđa	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Označavanje leđa	--	Zarez	Zarez	Zarez
7:edge
7.1	rub	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Paket
8.1	pakovanje	--	Epi-ready sa vakuumom pakovanje	Epi-ready sa vakuumom pakovanje	Epi-ready sa vakuumom pakovanje
8.2	pakovanje	--	Multi-wafer kasetno pakovanje	Multi-wafer kasetno pakovanje	Multi-wafer kasetno pakovanje