8-inčna SiC pločica proizvodnog kvaliteta 4H-N SiC podloga
Sljedeća tabela prikazuje specifikacije naših 8-inčnih SiC pločica:
| Specifikacije 8-inčnog N-tipa SiC DSP-a | |||||
| Broj | Stavka | Jedinica | Produkcija | Istraživanje | Lutka |
| 1:parametri | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orijentacija površine | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Električni parametar | |||||
| 2.1 | primjesa | -- | n-tip dušika | n-tip dušika | n-tip dušika |
| 2.2 | otpornost | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mehanički parametar | |||||
| 3.1 | prečnik | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | debljina | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orijentacija zareza | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Dubina zareza | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Luk | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktura | |||||
| 4.1 | gustoća mikrocijevi | kom/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | sadržaj metala | atoma/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | kom/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Granični poremećaj ličnosti | kom/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | kom/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Kvalitet prednje strane | |||||
| 5.1 | prednji | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | površinska obrada | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | čestica | ea/wafer | ≤100 (veličina ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | ogrebotina | ea/wafer | ≤5, Ukupna dužina ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Rub krhotine/udubljenja/pukotine/mrlje/kontaminacija | -- | Nijedan | Nijedan | NA |
| 5.6 | Politipna područja | -- | Nijedan | Površina ≤10% | Površina ≤30% |
| 5.7 | prednje označavanje | -- | Nijedan | Nijedan | Nijedan |
| 6: Kvalitet poleđine | |||||
| 6.1 | stražnja završna obrada | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | ogrebotina | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Defekti na leđima odlomci/udubljenja | -- | Nijedan | Nijedan | NA |
| 6.4 | Hrapavost leđa | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Oznaka na leđima | -- | Zarez | Zarez | Zarez |
| 7:ivica | |||||
| 7.1 | rub | -- | Zakošenje | Zakošenje | Zakošenje |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | pakovanje | -- | Epi-ready sa vakuumom pakovanje | Epi-ready sa vakuumom pakovanje | Epi-ready sa vakuumom pakovanje |
| 8.2 | pakovanje | -- | Višestruki obland pakovanje kaseta | Višestruki obland pakovanje kaseta | Višestruki obland pakovanje kaseta |
Detaljan dijagram
Napišite svoju poruku ovdje i pošaljite nam je