LNOI pločica od 4 i 6 inča od litijum-niobatnog monokristalnog filma
Proces pripreme LNOI materijala uglavnom je podijeljen na sljedeća četiri koraka.
(1) He ioni su ubrizgani u X-cut materijal litijum niobata pri određenoj energiji i uvedeni u defektni sloj na određenoj dubini ispod površinskog sloja litijum niobata;
(2) Ionski implantirani materijal od litij-niobata je vezan za silicijumsku podlogu slojem oksida kako bi se formirala vezana struktura;
(3) Vezna struktura je žarena kako bi se defekti nastali implantacijom He iona razvili i agregirali, formirajući pukotine. Konačno, litijum niobat je odvojen duž sloja defekta kako bi se formirale rezidualne kriške litijum niobata i LNOI pločice.
Primjene i prednosti LNOI pločice
1--Piezoelektrični filmovi litijum niobata (LNOI) imaju visoki piezoelektrični koeficijent i dielektričnu konstantu, što im omogućava da pretvaraju mehaničku energiju u električnu energiju ili električnu energiju u mehaničku energiju. Stoga se široko koriste u oblasti senzora, kao što su senzori pritiska, senzori ubrzanja, senzori temperature i tako dalje. Osim toga, piezoelektrični film litijum niobata može se koristiti i u akustičnim uređajima i vibracijskim uređajima, kao što su piezoelektrični keramički pretvarači i kompleksni piezoelektrični keramički filteri.
2-Stabilnost piezoelektričnog filma litijum niobata je također jedna od njegovih prednosti. Zbog stabilnosti kristalne strukture i hemijske inertnosti, piezoelektrični film litijum niobata može raditi na visokim temperaturama, visokoj vlažnosti, jakim kiselinama, jakim lužinama i drugim teškim okruženjima, uz dobru otpornost na koroziju i trajnost.
3-Litijum niobat piezoelektrični film je novi piezoelektrični materijal sa odličnim performansama i stabilnošću, te ima široku primjenu. Kontinuiranim razvojem nauke i tehnologije, litijum niobat piezoelektrični film će se primjenjivati u sve više gradova, donoseći više praktičnosti i inovacija u živote ljudi.
Detaljan dijagram


