4inch 6inch Lithium niobate monokristalni film LNOI wafer
Proces pripreme LNOI materijala uglavnom je podijeljen u sljedeća četiri koraka
(1) He joni su ubrizgani u X-rezani litijum niobatni materijal pri određenoj energiji i uvedeni u defektni sloj na određenoj dubini ispod površinskog sloja litijum niobata;
(2) Ionski implantirani materijal litijum niobata je vezan za silicijumsku podlogu sa oksidnim slojem da bi se formirala struktura vezivanja;
(3) Vezna struktura je žarena kako bi se defekti uneseni implantacijom He jona razvili i agregirali kako bi formirali pukotine. Konačno, litijum niobat je odvojen duž defektnog sloja kako bi se formirale rezidualne kriške litijum niobata i LNOI oblatne.
Primjena i prednosti LNOI vafla
1--Litij niobatni piezoelektrični filmovi (LNOI) imaju visoki piezoelektrični koeficijent i dielektričnu konstantu, koji mogu pretvoriti mehaničku energiju u električnu energiju ili električnu energiju u mehaničku energiju. Stoga se široko koristi u području senzora, kao što su senzori pritiska, senzori ubrzanja, senzori temperature i tako dalje. Osim toga, piezoelektrični film od litij niobata može se koristiti i u akustičnim uređajima i uređajima za vibracije, kao što je piezoelektrični keramički kompleks piezoelektričnih keramičkih filtera.
2-Stabilnost piezoelektričnog filma litij niobata također je jedna od njegovih prednosti. Zbog stabilnosti kristalne strukture i hemijske inertnosti, piezoelektrični film od litij niobata može raditi na visokim temperaturama, visokoj vlažnosti, jakoj kiselini, jakom alkalnom i drugim oštrim okruženjima, uz dobru otpornost na koroziju i izdržljivost.
Piezoelektrični film od 3-litijum niobata je novi piezoelektrični materijal sa odličnim performansama i stabilnošću, i ima široku perspektivu primene. Uz kontinuirani razvoj nauke i tehnologije, litijum niobatni piezoelektrični film će se primjenjivati u više gradova, donoseći više pogodnosti i inovacija u živote ljudi