4H-N/6H-N SiC Wafer Research proizvodnja Dummy grade Dia150mm silicijum karbidna podloga
Specifikacija podloge od silicijum karbida (SiC) prečnika 6 inča
Ocjena | Nula MPD | Produkcija | Ocjena istraživanja | Dummy Grade |
Prečnik | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Debljina | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Orijentacija pločice | Na osi:<0001>±0,5° za 4H-SI | |||
Primarni stan | {10-10}±5,0° | |||
Primarna dužina ravne površine | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Isključenje ruba | 3mm | |||
TTV/Luk/Osnova | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Gustoća mikrocijevi | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Otpornost 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Hrapavost | Poljski Ra ≤1nm CMP Ra ≤0,5nm | |||
#Pukotine uzrokovane svjetlom visokog intenziteta | Nijedan | 1 dozvoljeno, ≤2 mm | Kumulativna dužina ≤10 mm, pojedinačna dužina ≤2 mm | |
*Šesterokutne ploče pod visokim intenzitetom svjetla | Kumulativna površina ≤1% | Kumulativna površina ≤ 2% | Kumulativna površina ≤ 5% | |
*Površine politipa pod jakim intenzitetom svjetla | Nijedan | Kumulativna površina ≤ 2% | Kumulativna površina ≤ 5% | |
*&Ogrebotine uzrokovane svjetlom visokog intenziteta | 3 ogrebotine na kumulativnu dužinu 1 x prečnika pločice | 5 ogrebotina na kumulativnu dužinu 1 x prečnika pločice | 5 ogrebotina do 1 x prečnika pločice kumulativne dužine | |
Rubni čip | Nijedan | 3 dozvoljena, ≤0,5 mm svaki | 5 dozvoljeno, ≤1 mm svaki | |
Kontaminacija svjetlošću visokog intenziteta | Nijedan
|
Prodaja i korisnička podrška
Nabavka materijala
Odjel za nabavku materijala odgovoran je za prikupljanje svih sirovina potrebnih za proizvodnju vašeg proizvoda. Potpuna sljedivost svih proizvoda i materijala, uključujući hemijske i fizičke analize, uvijek je dostupna.
Kvalitet
Tokom i nakon proizvodnje ili mašinske obrade vaših proizvoda, odjeljenje za kontrolu kvaliteta je uključeno u osiguravanje da svi materijali i tolerancije ispunjavaju ili premašuju vaše specifikacije.
Usluga
Ponosni smo što imamo prodajno inženjersko osoblje s preko 5 godina iskustva u industriji poluprovodnika. Obučeni su da odgovore na tehnička pitanja, kao i da vam daju pravovremene ponude za vaše potrebe.
Tu smo za vas u bilo kojem trenutku kada imate problem i rješavamo ga u roku od 10 sati.
Detaljan dijagram

