Keramička stezna glava od silicijum-karbida za SiC safirne Si GAA pločice

Silicijum karbidna keramička stezna glava za SiC safirnu Si GAAs pločicu Istaknuta slika

Kratak opis:

Silicijum-karbidna keramička stezna glava je visokoperformansna platforma projektovana za inspekciju poluprovodnika, izradu pločica i primjenu lijepljenja. Izrađena od naprednih keramičkih materijala - uključujući sinterovani SiC (SSiC), reakcijski vezan SiC (RSiC), silicijum nitrid i aluminijum nitrid - nudi visoku krutost, nisko termičko širenje, odličnu otpornost na habanje i dug vijek trajanja.

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

Detaljan dijagram

Pregled keramičke stezne glave od silicijum karbida (SiC)

TheKeramička stezna glava od silicijum-karbidaje visokoperformansna platforma dizajnirana za inspekciju poluprovodnika, izradu pločica i primjenu lijepljenja. Izrađena od naprednih keramičkih materijala - uključujućisinterovani SiC (SSiC), reakcijski vezani SiC (RSiC), silicijum nitridialuminijum nitrid— nudivisoka krutost, nisko termičko širenje, odlična otpornost na habanje i dug vijek trajanja.

Sa preciznim inženjeringom i najsavremenijim poliranjem, stezna glava pružasubmikronska ravnost, površine ogledalskog kvaliteta i dugoročna dimenzijska stabilnost, što ga čini idealnim rješenjem za kritične poluprovodničke procese.

Ključne prednosti

Visoka preciznost
Kontrola ravnosti iznutra0,3–0,5 μm, osiguravajući stabilnost pločice i konzistentnu tačnost procesa.
Poliranje ogledala
PostižeRa 0,02 μmhrapavost površine, minimiziranje ogrebotina i kontaminacije na pločici - idealno za ultra čista okruženja.
Ultra lagan
Jači, a opet lakši od kvarcnih ili metalnih podloga, poboljšavajući kontrolu kretanja, odziv i tačnost pozicioniranja.
Visoka krutost
Izuzetan Youngov modul elastičnosti osigurava dimenzijsku stabilnost pod velikim opterećenjima i radom pri velikim brzinama.
Nisko termičko širenje
CTE je vrlo sličan silicijumskim pločicama, smanjujući termički stres i povećavajući pouzdanost procesa.
Izvanredna otpornost na habanje
Ekstremna tvrdoća održava ravnost i preciznost čak i pri dugotrajnoj upotrebi visoke frekvencije.

Proizvodni proces

Priprema sirovina
Visokočisti SiC prahovi sa kontrolisanom veličinom čestica i ultra niskim sadržajem nečistoća.
Oblikovanje i sinterovanje
Tehnike kao što susinterovanje bez pritiska (SSiC) or reakcijsko vezivanje (RSiC)proizvode guste, ujednačene keramičke podloge.
Precizna obrada
CNC brušenje, lasersko obrezivanje i ultraprecizna obrada postižu toleranciju od ±0,01 mm i paralelnost od ≤3 μm.
Površinska obrada
Višestepeno brušenje i poliranje do Ra 0,02 μm; dostupni su opcionalni premazi za otpornost na koroziju ili prilagođena svojstva trenja.
Inspekcija i kontrola kvalitete
Interferometri i ispitivači hrapavosti provjeravaju usklađenost sa specifikacijama poluprovodničkog kvaliteta.

Tehničke specifikacije

Parametar	Vrijednost	Jedinica
Ravnost	≤0,5	μm
Veličine vafla	6'', 8'', 12'' (moguće prilagođeno)	—
Vrsta površine	Tip igle / Tip prstena	—
Visina pina	0,05–0,2	mm
Min. promjer igle	ϕ0.2	mm
Min. razmak između pinova	3	mm
Min. širina zaptivnog prstena	0,7	mm
Hrapavost površine	Ra 0,02	μm
Tolerancija debljine	±0,01	mm
Tolerancija prečnika	±0,01	mm
Tolerancija paralelizma	≤3	μm

Glavne primjene

Oprema za inspekciju poluprovodničkih pločica
Sistemi za izradu i transfer pločica
Alati za lijepljenje i pakovanje pločica
Napredna proizvodnja optoelektronskih uređaja
Precizni instrumenti koji zahtijevaju ultra ravne, ultra čiste površine

Pitanja i odgovori – Stezna glava od silicijum-karbidne keramike

P1: Kako se keramičke SiC stezne glave porede sa kvarcnim ili metalnim steznim glavama?
A1: SiC stezne glave su lakše, kruće i imaju CTE vrijednost blisku silicijumskim pločicama, što minimizira termičku deformaciju. Također nude vrhunsku otpornost na habanje i duži vijek trajanja.

P2: Kolika ravnost se može postići?
A2: Kontrolisano iznutra0,3–0,5 μm, ispunjavajući stroge zahtjeve proizvodnje poluprovodnika.

P3: Hoće li površina ogrebati pločice?
A3: Ne - polirano kao ogledaloRa 0,02 μm, osiguravajući rukovanje bez ogrebotina i smanjeno stvaranje čestica.

P4: Koje veličine pločica su podržane?
A4: Standardne veličine6'', 8'' i 12'', s mogućnošću prilagođavanja.

P5: Kakva je termička otpornost?
A5: SiC keramika pruža odlične performanse na visokim temperaturama uz minimalnu deformaciju pri termičkom cikliranju.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbid SIC, kvarc i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.