Sadržaj
1. Pregled i osnovne funkcije FOUP-a
2. Strukturne i dizajnerske karakteristike FOUP-a
3. Smjernice za klasifikaciju i primjenu FOUP-a
4. Operacije i značaj FOUP-a u proizvodnji poluprovodnika
5. Tehnički izazovi i budući razvojni trendovi
6. XKH-ova prilagođena rješenja i servisna podrška
U procesu proizvodnje poluprovodnika, FOUP (Front Opening Unified Pod) je ključni kontejner koji se koristi za zaštitu, transport i skladištenje pločica. Njegova unutrašnjost može primiti 25 komada pločica od 300 mm, a njegove glavne komponente uključuju kontejner koji se otvara sprijeda i namjenski okvir vrata za otvaranje i zatvaranje. FOUP je nosač jezgra u automatizovanom transportnom sistemu unutar fabrika pločica od 12 inča. Obično se transportuje u zatvorenom stanju i otvara se tek kada se gurne do otvora za utovar opreme, omogućavajući prenos pločica u otvor za utovar/istovar opreme.
Dizajn FOUP-a prilagođen je zahtjevima mikrookruženja. Na stražnjoj strani ima utore za umetanje pločica, a poklopac je posebno dizajniran da odgovara stezaljci otvarača. Roboti za rukovanje pločicama rade u okruženju čistog zraka klase 1, osiguravajući da se pločice ne kontaminiraju tokom prijenosa. Nadalje, FOUP se premješta između procesnih alata putem automatiziranog sistema za rukovanje materijalom (AMHS). Moderne fabrike pločica uglavnom koriste nadzemne šinske sisteme za transport, dok neke starije fabrike mogu koristiti automatski vođena vozila (AGV) na tlu.
FOUP ne samo da omogućava automatizirani prijenos pločica, već služi i kao skladište. Zbog brojnih proizvodnih koraka, cijeli proces proizvodnje pločica može trajati mjesecima. U kombinaciji s visokim mjesečnim količinama proizvodnje, to znači da su desetine hiljada pločica unutar fabrike stalno u tranzitu ili privremenom skladištu u bilo kojem trenutku. Tokom skladištenja, FOUP-ovi se periodično pročišćavaju dušikom kako bi se spriječio kontakt kontaminanata s pločicama, osiguravajući čist i pouzdan proizvodni proces.
1. Funkcije i značaj FOUP-a
Osnovna funkcija FOUP-a je zaštita pločica od vanjskih udara i kontaminacije, posebno izbjegavajući utjecaje na prinos tokom transporta. Efikasno sprječava vlagu metodama poput pročišćavanja plinom i kontrole lokalne atmosfere (LAC), osiguravajući da pločice ostanu u sigurnom stanju dok čekaju sljedeći korak proizvodnje. Njegov zatvoreni i kontrolirani sistem omogućava ulazak samo neophodnih spojeva i elemenata, značajno smanjujući negativne učinke isparljivih organskih spojeva (VOC), kisika i vlage na pločice.
Budući da FOUP (Funkcija za rukovanje materijalom) potpuno natovaren sa 25 pločica može težiti i do 9 kilograma, njegov transport mora se oslanjati na Automatizirani sistem za rukovanje materijalom (AMHS). Da bi se to olakšalo, FOUP je dizajniran s različitim kombinacijama spojnih ploča, iglica i rupa, te je opremljen RFID elektroničkim oznakama za laku identifikaciju i klasifikaciju. Ovo automatizirano rukovanje gotovo da ne zahtijeva ručni rad, što znatno smanjuje stopu grešaka i povećava sigurnost i tačnost proizvodnog procesa.
2. Struktura i klasifikacija FOUP-a
Tipične dimenzije FOUP-a su približno 420 mm širine, 335 mm dubine i 335 mm visine. Njegove glavne strukturne komponente uključuju: gornju OHT (gljivastu glavu) za transport nadzemnom dizalicom; prednja vrata za pristup pločicama opreme; bočne ručke, često označene bojama kako bi se razlikovala procesna područja s različitim nivoima kontaminacije; prostor za kartice za postavljanje kartica s porukama; i donju RFID oznaku koja služi kao jedinstveni identifikator za FOUP, omogućavajući alatima i nadzemnim dizalicama da ga prepoznaju. Baza je također opremljena s četiri otvora za identifikaciju i pozicioniranje za usklađivanje s alatima i razlikovanje procesnih područja.
Na osnovu upotrebe, FOUP-ovi se klasifikuju u tri tipa: PRD (za proizvodnju), ENG (za inženjerske pločice) i MON (za monitorske pločice). PRD FOUP-ovi se mogu koristiti za proizvodnju proizvoda, ENG tipovi su pogodni za istraživanje i razvoj ili eksperimente, a MON tipovi su namijenjeni za praćenje procesa za korake poput CMP i DIFF. Važno je napomenuti da se PRD FOUP-ovi mogu koristiti i za ENG i za MON svrhe, a ENG tipovi se mogu koristiti i za MON, ali obrnuta operacija predstavlja rizik za kvalitet.
Klasificirani prema nivou kontaminacije, FOUP-ovi se mogu podijeliti na FE FOUP (prednji proces, bez metala), BE FOUP (zadnji proces, sadrži metal) i one specijalizirane za specifične procese s metalima poput NI FOUP-a, CU FOUP-a i CO FOUP-a. FOUP-ovi za različite procese obično se razlikuju po boji bočnih ručki ili panela vrata. FOUP-ovi iz prednjih procesa mogu se koristiti u pozadinskim procesima, ali FOUP-ovi sa zadnjeg dijela nikada se ne smiju koristiti u prednjim procesima, jer bi to moglo uzrokovati rizik od kontaminacije.
Kao ključni nosilac u proizvodnji poluprovodnika, FOUP, kroz visoku automatizaciju i strogu kontrolu kontaminacije, osigurava sigurnost i čistoću pločica tokom proizvodnog procesa, što ga čini nezamjenjivom infrastrukturom u modernim fabrikama pločica.
Zaključak
XKH je posvećen pružanju visoko prilagođenih FOUP (Front-Opening Unified Pod) rješenja za kupce, strogo se pridržavajući vaših specifičnih procesnih zahtjeva i specifikacija interfejsa opreme. Koristeći naprednu tehnologiju materijala i precizne proizvodne procese, osiguravamo da svaki FOUP proizvod pruža izuzetnu hermetičnost, čistoću i mehaničku stabilnost. Naš tehnički tim posjeduje duboko stručno znanje u industriji, nudeći sveobuhvatnu podršku tokom životnog ciklusa - od konsultacija o odabiru i strukturne optimizacije do čišćenja i održavanja - osiguravajući besprijekornu integraciju i efikasnu saradnju između FOUP-a i vašeg Automatizovanog sistema za rukovanje materijalom (AMHS), kao i opreme za obradu. Dosljedno dajemo prioritet sigurnosti pločica i povećanju prinosa proizvodnje kao našim osnovnim ciljevima. Kroz inovativne proizvode i sveobuhvatne tehničke usluge, pružamo robusnu garanciju za vaše procese proizvodnje poluprovodnika, što u konačnici povećava efikasnost proizvodnje i prinos proizvoda.
Vrijeme objave: 08.09.2025.