Visokočiste taljene kvarcne pločice za poluprovodničke, fotonske i optičke primjene 2″4″6″8″12″

Kratak opis:

Spojeni kvarc- također poznat kaoSpojeni silicij—je nekristalni (amorfni) oblik silicijum dioksida (SiO₂). Za razliku od borosilikata ili drugih industrijskih stakala, taljeni kvarc ne sadrži primjese ili aditive, nudeći hemijski čist sastav SiO₂. Poznat je po svojoj izuzetnoj optičkoj transmisiji kroz ultraljubičasti (UV) i infracrveni (IR) spektar, nadmašujući tradicionalne staklene materijale.

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

Detaljan dijagram

Pločice od taljenog silicija i optičkog kvarcnog stakla-2

fuzionirana_kvarcna_pločica_od_10 cm_fuzionirane_silicijske_pločice_

Pregled kvarcnog stakla

Kvarcne pločice čine osnovu bezbroj modernih uređaja koji pokreću današnji digitalni svijet. Od navigacije u vašem pametnom telefonu do osnove 5G baznih stanica, kvarc tiho pruža stabilnost, čistoću i preciznost potrebnu u visokoperformansnoj elektronici i fotonici. Bilo da podržava fleksibilna kola, omogućava MEMS senzore ili čini osnovu za kvantno računarstvo, jedinstvene karakteristike kvarca čine ga nezamjenjivim u svim industrijama.

„Stopljeni silicijum dioksid“ ili „Stopljeni kvarc“ je amorfna faza kvarca (SiO2). Za razliku od borosilikatnog stakla, spojeni silicijum dioksid nema aditiva; stoga postoji u svom čistom obliku, SiO2. Stopljeni silicijum dioksid ima veću propusnost infracrvenog i ultraljubičastog spektra u poređenju sa običnim staklom. Stopljeni silicijum dioksid se proizvodi topljenjem i ponovnim očvršćavanjem ultračistog SiO2. Sintetički spojeni silicijum dioksid, s druge strane, napravljen je od hemijskih prekursora bogatih silicijumom, kao što je SiCl4, koji se gasificiraju, a zatim oksidiraju u atmosferi H2 + O2. Prašina SiO2 koja se u ovom slučaju formira spaja se sa silicijum dioksidom na podlozi. Blokovi spojenog silicijum dioksida se režu na pločice, nakon čega se pločice konačno poliraju.

Pločice od taljenog silicija i optičkog kvarcnog stakla

Ključne karakteristike i prednosti kvarcne staklene pločice

Ultra visoka čistoća (≥99,99% SiO2)
Idealno za ultra čiste poluprovodničke i fotonske procese gdje kontaminacija materijala mora biti svedena na minimum.
Širok termalni radni raspon
Održava strukturni integritet od kriogenih temperatura do preko 1100°C bez savijanja ili degradacije.
Odlična UV i IR propusnost
Pruža odličnu optičku jasnoću od dubokog ultraljubičastog (DUV) do bliskog infracrvenog (NIR) zračenja, podržavajući precizne optičke primjene.
Nizak koeficijent termičkog širenja
Poboljšava dimenzijsku stabilnost pri temperaturnim fluktuacijama, smanjujući naprezanje i poboljšavajući pouzdanost procesa.
Vrhunska hemijska otpornost
Inertan je prema većini kiselina, alkalija i rastvarača, što ga čini pogodnim za hemijski agresivne sredine.
Fleksibilnost površinske obrade
Dostupno s ultra glatkim, jednostranim ili dvostranim poliranim završnim obradama, kompatibilno sa zahtjevima fotonike i MEMS-a.

Proces proizvodnje kvarcne staklene pločice

Pločice od taljenog kvarca proizvode se kroz niz kontroliranih i preciznih koraka:

Odabir sirovina
Izbor prirodnog kvarca visoke čistoće ili sintetičkih izvora SiO₂.
Topljenje i fuzija
Kvarc se topi na ~2000°C u električnim pećima pod kontroliranom atmosferom kako bi se uklonile inkluzije i mjehurići.
Formiranje blokova
Rastopljeni silicijum dioksid se hladi u čvrste blokove ili ingote.
Rezanje oblatne
Za rezanje ingota u prazne pločice koriste se precizne dijamantske ili žičane pile.
Poliranje i brušenje
Obje površine su izravnane i polirane kako bi se ispunile tačne optičke specifikacije, specifikacije debljine i hrapavosti.
Čišćenje i inspekcija
Pločice se čiste u čistim sobama ISO klase 100/1000 i podvrgavaju se strogim inspekcijama na nedostatke i dimenzijsku usklađenost.

Svojstva kvarcne staklene pločice

specifikacija	jedinica	4"	6"	8"	10"	12"
Prečnik / veličina (ili kvadrat)	mm	100	150	200	250	300
Tolerancija (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Debljina	mm	0,10 ili više	0,30 ili više	0,40 ili više	0,50 ili više	0,50 ili više
Primarna referentna ravna ploča	mm	32,5	57,5	Polu-zarez	Polu-zarez	Polu-zarez
LTV (5 mm × 5 mm)	μm	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Luk	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Warp	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 mm × 5 mm) < 0,4 μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Zaokruživanje ivica	mm	U skladu sa SEMI M1.2 standardom / pogledajte IEC62276
Tip površine		Polirano s jedne strane / Polirano s obje strane
Polirana strana Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Kriteriji za zadnju stranu	μm	općenito 0,2-0,7 ili prilagođeno

Kvarc u odnosu na druge prozirne materijale

Nekretnina	Kvarcno staklo	Borosilikatno staklo	Safir	Standardno staklo
Maksimalna radna temperatura	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
UV transmisija	Odlično (JGS1)	Siromašno	Dobro	Vrlo loše
Hemijska otpornost	Odlično	Umjereno	Odlično	Siromašno
Čistoća	Izuzetno visoko	Nisko do umjereno	Visoko	Nisko
Termičko širenje	Vrlo nisko	Umjereno	Nisko	Visoko
Cijena	Umjereno do visoko	Nisko	Visoko	Vrlo nisko

Često postavljana pitanja o kvarcnim staklenim pločicama

P1: Koja je razlika između taljenog kvarca i taljenog silicijum dioksida?
Iako su oba amorfni oblici SiO₂, taljeni kvarc obično potiče iz prirodnih izvora kvarca, dok se taljeni silicijum dioksid sintetički proizvodi. Funkcionalno, nude slične performanse, ali taljeni silicijum dioksid može imati nešto veću čistoću i homogenost.

P2: Mogu li se pločice od taljenog kvarca koristiti u okruženjima visokog vakuuma?
Da. Zbog svojih svojstava niskog ispuštanja plinova i visoke toplinske otpornosti, pločice od taljenog kvarca odlične su za vakuumske sisteme i primjenu u zrakoplovstvu.

P3: Da li su ove pločice pogodne za primjenu u dubokom UV laseru?
Apsolutno. Taljeni kvarc ima visoku propusnost do ~185 nm, što ga čini idealnim za DUV optiku, litografske maske i eksimer laserske sisteme.

P4: Da li podržavate izradu prilagođenih pločica?
Da. Nudimo potpunu prilagodbu, uključujući prečnik, debljinu, kvalitet površine, ravne površine/zareze i lasersko oblikovanje, na osnovu vaših specifičnih zahtjeva primjene.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju specijalnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za sočiva mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijum karbidne SIC, kvarcne i poluprovodničke kristalne pločice. Sa stručnim znanjem i najsavremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko preduzeće u oblasti optoelektronskih materijala.

Safirna pločica, prazna, visokočista sirova safirna podloga za obradu 5